フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

製造業包括支援ソフト　ProWorks

品質管理・工程管理・進捗管理・資料管理・技能訓練など製造全般を、多言語…

に同時にスピーディに配布します。また、改訂や許認可手続きを伴う文書資料の配布も、マウスをクリックするだけで実行できます。 ＜計画実行＞ 各ステップの完了時点で、各部署にデジタル署名を要求でき、プロセスの状況をリアルタイムで追跡できます。 ProWorksでは、文書資料はシステムを構成するプロセス内の一部としてあり、保存場所の忘れがなく、必要時に直ちにアクセスすることが出来ます。 ＜状況分析...

メーカー・取り扱い企業： ユニクラフト株式会社