ハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』※技術資料進呈

PRサーボモータで油圧ポンプを回転させ、油圧ポンプ吐出方向を制御。制御弁、…

当社が開発したハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』は、 制御弁がいらず、推力やロッド位置の制御を高精度で行えます。 サーボモータで油圧ポンプを回転させ、サーボモータの正逆回転によって 油圧ポンプの吐出方向を制御。方向制御弁がいらず、回転速度の制御で、 作業油の吐出量もコントロールできるため、油量制御もいりません。 電動アクチュエータの特長と、油圧シリンダの高剛性を兼ね備...

メーカー・取り扱い企業： 第一電気株式会社

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

造：円筒・石英チャンバー 高周波出力(Max)：1KW 発振周波数：13.56MHz水晶発振器 チャンバー寸法（内寸）：Φ300×500mm チャンバー材質：石英 反応ガス 2系統 空ポンプ ドライポンプ（約500L/分） ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個、エアー1個...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社