協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)

PRLC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働ロボット…

LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバーが内蔵されているため、電動昇降装置のオンボード制御や診断が簡単です。LC3 IC は、産業用通信インタフェースにより、協働ロボットパレタイザーや高さ調整可能なコンベアベルトなどの用途など、産業人間工学に好適な電動昇降装置となっています。 LC3 IC は ELEVATEと呼ばれるモデルで、特に特定のインターフェース、ソフトウェアドライバー、...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社

サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

『GA2400』は、PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する エッジグリップ仕様アライナーです。 ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決めが可能。 極単純構造にすることにより、製造コストを大幅に削減できます。 また、2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

『GA2000シリーズ』

RS232C通信制御！PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する製品…

『GA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがPEEK樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 2相ステッピングモータ使用。 極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能です。 また、4インチウェハに対応。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■RS232C通信制御 ■2相ステッピングモータ使用 ■4インチウェハ対応 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

当製品は、あらかじめ登録した欠陥種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型アライナー『AA2568』

2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め　スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

『AA2000シリーズ』

5・6・8インチウェハ対応！2相ステッピングモータを使用の製品をご紹介…

『AA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがポリアセタール樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ。 RS232C通信制御またはI/O制御です。 また、5・6・8インチウェハに対応しています。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』

8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…

『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社