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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大5…
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本レーザー
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コンセントにつなぐだけの簡単設置!軽量なのに高強度を実現したLEDブラ…
外線照射範囲 ・中心波長:365nm ・紫外線強度(距離400mm位置) →中心強度:10,000μW/cm2以上 →円形配光:Φ120mm 4,000μW/cm2以上 ■構成 ・UVLED 4灯 ・白色LED 1灯 ・紫外線透過フィルタ 1枚 ・電源ケーブル(5m) 1本 ■電源:AC100V~240V(50/60Hz)消費...
メーカー・取り扱い企業: 電子磁気工業株式会社
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ファンレスによりメンテナンスフリー&高耐久性! 紫外線強度の調整が可…
65nm±5nm(A領域紫外線) ・紫外線強度(距離400mm位置) →中心強度:15,000μW/cm²以上 →楕円配光(W440×D400):2,000μW/cm²以上 ■構成 ・UVLED:6灯 ・調光用ボリューム内蔵(紫外線強度):1個 ・冷却フィン:1個 ・電源ケーブル(5m):1本 ■電源:AC100V-240V 50/60Hz 消費電力 約90...
メーカー・取り扱い企業: 電子磁気工業株式会社
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1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機
シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース…
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すぐ読めて、よく分かる。放熱用の水冷板について、理解が深まる解…
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