フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業： 富士ハイテック株式会社

『フレキシブルジョイント、熱交換器など取扱製品のご紹介』

PR変位・振動に強いジョイント製品のほか、プレート式やシェル＆チューブ式の…

配管継手などの製造・販売を手がける当社では、 多彩なバリエーションの製品を取り揃えております。 可とう性や防振性に優れる継手が揃った「ブレードホース」、「ポリマーシリーズ」、 独自構造によって高い柔軟性を実現した「フレキシブルチューブ」、 他にもプレート式やシェル＆チューブ式の熱交換器や 投込み式伝熱管もラインアップしています。 現在、製品を紹介したカタログ4点を進呈中です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゼンシン株式会社

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所

浸漬揺動式電解研磨機｜NSCエンジニアリング

「電解研磨装置」「専用電極治具」「電解研磨液」を一括提供いたします。

◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆ ○処理：バッチ式 ○材料幅：ご相談ください ○材料厚み：ご相談ください ○加工面：全面・片面 ○装置構成 ：〜浸漬型電解研磨処理槽〜電源機～ ○ユーティリティ 　・電源　AC200V・220V / 50Hz・60Hz ○装置寸法：1.2M（W）×1.4M（D）×1.45M（H） ◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部

精密洗浄

精密洗浄が必要な半導体装置本体や半導体関係部品など大物から小物まで幅広…

大型の薬品槽があるので大物が出来るのが得意としています。 半導体関係に限らず様々な製品にも対応可能ですので精密洗浄でお困りごとはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 光伸産業株式会社

OTEC / ストリームフィニッシュマシンSF

完全自動化にも対応したカスタマイズ可能な高速仕上げ機械

ワークを保持したスピンドルと研磨槽の双方を同時に回転させることにより強い研削力を実現し、高精度で効率的な表面仕上げを可能にしました。 完全自動化も容易に構築でき、大規模な量産ラインに対応させることも可能です。 (高速回転スピンド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーケービー

OIL SKIMMER CATALOG

チューブスキマーをはじめ、円盤スキマー、オプションのクイック取付装置な…

【その他の掲載製品】 ■油水分離槽（オイルセパレーター）「TS-92」（オプション） ■クイック取付装置「BST-1」（オプション） ■スーパーオイルスキマー「TAPシリーズ」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 田中インポートグループ株式会社

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン化機構で緻密で高い密着威力を持つ電極膜を高速形成。 横型タイプを採用し、小さな設置面積で大きな処理量を実現。 電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前に効果的なプラズマクリーニングも同一バッチで実施。シンプルな装置構成で多層・マルチステップ処理を実現。 部品寸法・形状に合わせ治具や基板保持方法の細かく対応。信頼性の高い基本ハー...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ペンシルタイプで狙いやすいサンドブラスト機『APB-3N型』

「便利・快適」と「多様性」を追求したペンシルタイプのサンドブラスト機！…

サンドブラスト処理が行えます。 【特長】 ■「ペンシルタイプ」だから、使いやすい、狙いやすい ■選べる10パターンの組み合わせ 　・吸引式と直圧式から選択可能 　・切替弁方式による“2槽式”に拡張可能 ■快適に使える、うれしい標準装備 ■優れた拡張性とオプション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社秋山産業

ドラフトチャンバー（機器組込み型）

ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。

フトチャンバー内に使用機器を組込むことにより、使い勝手の向上と安全面の向上が得られます。 ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。 現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。 【特長】 ■内部配管、配線等が整理され、外観がスッキリ。 ■責任範囲の明確化。 ■安全面も考慮。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

リなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

石英・ガラス製品

高品質の石英・ガラス製品を低価格、短納期でご提供致します！石英・ガラス…

英、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラス） 　石英ガラス管 　ムク棒 　石英ウール 　石英フィルター　など 【ガラス加工製品例】 　化学実験器具（ビーカー・試験管など） 　半導体洗浄処理槽 　光ファイバー素材 　ランプ用の管材（ハロゲンランプなど） 　集光レンズ 　分析機器用セル 　電熱ヒーターカバー　など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

　　 8軸（Φ360mm×H1650mm/軸：ワーク搭載エリア） ○自公転数　6 軸：自転11～33rpm/公転1～3rpm 　　　　　　8 軸：自転13～37rpm/公転1～3rpm ○真空槽　Φ1600mm×H2300mm（SS400 製） ○フットプリント　W4700mm×D7000mm×H3100mm 【所要諸元】 ○所要電力 本機：Φ3　200V 約12KVA、抵抗蒸発...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける →トルクはフィードバック制御にて行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター →真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。 ■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど） ■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。 ■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能。 ※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます（オンライン対応可） ※詳しくはカタログをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作 ・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置 ・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置 上記６種類のラインナップに、５種類のオプションを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

【主な仕様】 ・処理工程：投入→エッチング→絞り→水洗槽 ・処理最大幅：150mm ・処理最大長：200mm(最小100mm) ・搬送：PP製ローラー(ピッチ45ｍm) ・チャンバー長：260mm(有効長170mm) ・コンベアスピード：70m...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／25...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制御システム ○高出力・大面積照射イオンソー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

開発・製造レポート『溶剤蒸気発生装置』

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介し…

【仕様】 ■外観寸法：W1800xD700xH1600 SUS製 ■槽内寸法：W1380xD390xH750 塩ビ製 ■冷却方式：空冷式チラー AC200V 10A ■加熱方式：シースヒーター AC100V 1200W ※別途工場エアーと排気設備が必要 ※...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック

8の字全面流動式 バレル研磨機『スーパーエイトフィニッシャー』

「8の字」遠心全面流動式で効率の良い研磨を実現

きます。 【特長】 ■自転・公転する事で『8の字』流動するため、短時間でムラ無く 　滑らかに均等に仕上がる ■形状・材質を問わない幅広い適応性 ■多品種小ロットの高速自動研磨に適した4槽式 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社秋山産業

化学研磨

微細な多量の部品を一度で均一に研磨！精密部品、厨房機器など多岐に渡った…

【対応寸法】 ■槽のサイズ：直径420mm×高さ400mm ■処理可能サイズ：直径300mm×高さ300mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和鍍金

カーベック　特殊塗料関連機器　総合カタログ

乾燥器・サンドブラスター・洗浄機・研磨機などを掲載しております！

当カタログは、特殊塗料、特殊塗料関連機器の製造・販売・輸出入および 各種製品開発を行っているカーベック(有限会社ブレイヴオート)製品を 掲載したカタログです。 槽内容量2160リッターでバイクフレーム等の大型パーツにも余裕で 対応できる乾燥器シリーズ『CV-1800WR Plus』をはじめ、 ハイパワーモーターを搭載したホイール回転研磨機『MAXPIN』...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ブレイヴオート

光反応用UV照射装置

紫外線の光反応で環境に貢献。薬品、染料、超純水処理等多くの分野で、クリ…

特長 ・2重管構造の水銀ランプを使用し最大50ｋWの電力量で光化学反応を行います。 ・多種多様なランプ・電源を利用し反応槽仕様、生産量に応じ最適な光化学反応システムをご提案致します。 ・防爆検定の取得実績により、設置環境にとらわれない安全かつ効率的な光化学反応プロセスを実現致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャテック

電解研磨

電解研磨から生まれる鏡のような表面！質の高い電解研磨でIT技術を支えて…

メルコジャパン株式会社の電解研磨部門について、ご紹介いたします。 電解研磨によってステンレスの表面にある不純物・油脂を抑制し、 強固な不動体皮膜を形成。 当社では、大型電解槽1号機と2号機があり、最大で長さ8,000mm×幅4,500mm× 深さ4,500mmの大型槽です。 【保有設備】 ■大型電解槽1号機/2号機 ■純水製造プラント(日本オルガノ製) ...

メーカー・取り扱い企業： メルコジャパン株式会社 丸森第一工場

テフロンヒーター（薬液加熱用投げ込みテフロン被覆ヒーター）

投げ込み型のテフロンヒーターです

１．接液部はオールフッ素樹脂で構成 ２．耐薬品性にすぐれている（アルカリ及びフッ酸にも使用可） ３．処理槽の底部に設置するので省スペース ４．ワークと強度に接触しても破損の心配は少ない ５．取扱いが容易である ６．ヒーター部のみの取替えも可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

【仕上げ洗浄工程】脱脂洗浄装置（コ・ソルベント方式）

《レンズ・プリズム・精密部品洗浄に》洗浄溶剤が常に再生・再利用され、高…

する洗浄システムです。 HC溶剤中で溶解された汚れはHC真空蒸留機で蒸留再生され装置外へとたされます。 リンス溶剤に持ち込まれたHC溶剤は溶剤分離装置を経て、HC溶剤とリンス溶剤は其々の洗浄槽に戻され、再利用されます。 【特徴】 ○経済的 　HC・HFEの蒸留装置とHC/HFE分離装置により 　洗浄溶剤は再利用される（溶剤消耗量が激減） 　溶剤の予想使用量は見積時に...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

る必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いているが、 現状の真空槽を活用して、拡張性を増やし、色々な実験を行いたい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

○回転テーブル：往復回転 ○扉：内ドア、外ドア　2重扉 ○シャワーノズル →石英管内部及び外部洗浄用 →ブース天井及び外部洗浄用 →純水リンス及びN2ブローも同じノズル使用 ○小物洗浄槽：Nonメタル　PVC ○PH計：但しオート切り替えドレンはオプション ○操作盤：液晶タッチパネル ○電源：AC-100～120V 20A ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。 【特徴】 ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用 回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用 モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用 本体の異常振動検知に振動スイッチを採用 真空度のチェックに真空監視機構を採用 その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部