• 高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置 製品画像

    高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置

    PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

    【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 強力波動エアー噴射ノズル「パタガン SPG/PGOシリーズ」 製品画像

    強力波動エアー噴射ノズル「パタガン SPG/PGOシリーズ」

    PR【展示会出展】広範囲を強力エアーブロー。水切り・油切り・除塵が効率的。…

    『パタガン SPGシリーズ/PGOシリーズ』は、水切り乾燥・除塵などのエアーブロー作業の効率化を実現する“波動ノズル”を搭載したエアーガンです。 断続的な衝撃波を広範囲に及ぼすことで作業時間の短縮が可能になり、エアー消費量も節約できるため省エネ・省力化に貢献します。 コンプレッサーエアー用の「PGO-91型/91G型」をはじめ、広範囲の処理に適した「SPG-40型/40G型」、狭い範囲の処理に適...

    メーカー・取り扱い企業: 大浩研熱株式会社

  • 枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001 製品画像

    枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001

    2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!

    SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 フルオートスピンナー JASC-150型 製品画像

    スピン洗浄装置 フルオートスピンナー JASC-150型

    現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!

    JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型 製品画像

    スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型

    自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!

    SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター 製品画像

    スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター

    【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

    高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A 製品画像

    スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

    均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!

    高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

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