真空バルブ | イプロスものづくり

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

真空チェックバルブ「piSAVE sense」

吸着搬送するワークのサイズが複数の場合でも、供給エアーの使用を適正化

piSAVE senseは、吸着搬送するワークのサイズが複数の場合でも、供給エアーの使用を適正化するものです。段ボールなどの多孔性のものに適しています。【特徴】 ○1台の真空ポンプに対し、　複数の吸着パットを持つアプリケーションに使用する ○真空チェックバルブが、いくつかの吸着バットがワークと　接触しない場合にも十分な高い応答速度とともに真空レベルを保持する詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：ピアブ・ジャパン株式会社

ソレノイドバルブ　EMVP

真空搬送用のソレノイドバルブ！

ソレノイドバルブ EMVPシリーズは、大流量でも圧力が落ちず真空ポンプや真空ブロアとの併用に適したソレノイドバルブです。空圧式パイロット型電磁弁のため、省エネルギーかつ非常に速いバルブの開閉が可能です。常時開放バルブ（ノーマルオープン）は電源誤作動にも対応します。最大流量3㎥/h～310㎥/hの7タイプをラインナップ。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持った遮断弁です。シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、バルブ取り付け作業が容易。スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの巻き上げを防止します。メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力コントロールをします。バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

高真空対応ゲートバルブ【高真空対応のベローズ軸シール】

高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな…

『高真空対応ゲートバルブ』は、高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな設計です。低振動、高品質で多種をラインアップしており、リーズナブルな価格でご提供いたします。【仕様（抜粋）】 ■リーク量　・本体（メタルシール）：2.7×10^-11 Pa・m3/sec 　・本体（バイトンシール）：2.7×10^-10 Pa・m3/sec 　・ゲート部：1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを導入するための製品です。軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

用途多様・広範囲対応な真空バルブ「真空バルブシリーズ」

日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。

真空バルブ「真空バルブシリーズ」は低真空から超高真空まで対応できます。ストレート(Y型及びZ型）バルブを使用する場合、配管を曲げなくでもバルブをうまく接続できます。日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。それらはアングルバルブ、ストレート(Y型及びZ型）バルブ、ボールバルブ、オートメートルバルブ、手動式と圧空式、またはベローズツキとベローズナキを選択できます。真空バルブを使用す...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司

チェックバルブ（落下防止弁）　SVK、SVKG、SVV

エアのリークを抑えて、真空圧を維持！

特長：チェックバルブ SVK, SVKG, SVVシリーズは、内蔵したボールが上下することによって、吸込み時に回路を塞ぎ、主回路内の真空圧低下を抑制する落下防止弁です。真空パッドに取付けることによって、パッドがワークに十分に覆われていない場合にも、真空圧を維持できるため、吸着し搬送することができます。...【特徴】 ○吸着時の流量を抑制（シート式フリーボールタイプ） →1箇所の...

メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社

PressVac 真空ベローズバルブ　製品カタログ

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。真空配…

【PressVac製品】真空配管・真空装置に使用されるアングルバルブを安価にご提案いたします。バルブに内蔵された溶接ベローズは、２種類の材質から選択できます。・標準 SUS316L 耐久回数300,000回（保証値）・オプション AM350 耐久回数100万回（保証値） L型バルブ、アングルバルブ、真空アングルバルブなどと呼ばれる製品に該当します。【国内在庫】 NW25、NW40サ...

メーカー・取り扱い企業：バリューインパクト有限会社

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、低コスト化を考慮したL型真空バルブです。極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。ベローズシール構造により高いリーク性能を持っておりま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。＃副生成物対策内部・外部ヒーター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるためコールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。＃副生成物対策また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長で…

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部の両方から加熱することにより、高い均熱性能を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる全金属製の製品です。バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにもオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用しています。【特長】...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに対応可能。半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー