各種スイッチ総合ラインナップ　＜圧力、真空、油圧＞【使用事例付】

PR大手航空機メーカーでも採用！圧力・真空・油圧スイッチの総合カタログを進…

圧力・真空計測・制御のエキスパートとして、半世紀以上の実績と蓄積された経験とノウハウにより、圧力・真空制御スイッチ専業メーカーです。 【特長】 ■自社独自での生産ラインの企画、設計、製作、改良 ■構成部品の部品加工から出荷に至るまですべて社内で一貫生産 ■高品質な製品を短納期にてお客様に提供 / 特殊継手等にも対応 【主な対象業界】 ・電車車輌 ・航空機 ・工作機械 ・医...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分か...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

【資料】真空集中排気システム『VIE-system』

真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…

当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空ポンプリザーバ超高速排気システム『エコバックシステム』

連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム

『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空デシケーター『FVD-BU』

300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニット…

『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

【資料】FOUP用 真空ガス置換システム『VGX-system』

多数のVGXオペレーションや、特長などを分かりやすく掲載しています！

当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換 システム『VGX-system』のご紹介資料です。 現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの 概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。 是非、ダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック