実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DR

試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定！FPD用フィルムやS…

Sairon Technology, Inc. 三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルム、SiO2等...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

インライン向け非接触膜厚測定装置

金属コイル、金属コンテナ上の透明膜、不透明膜、ウェット膜、ドライ膜の厚…

・インライン対応（ばたつきがあっても問題なし）　　　　　 ・非接触で塗料、コーティング剤の厚みを測定　(測定可能膜厚：0.2～250um) ・ウェット膜、ドライ膜の両方を測定可能　　　　　　　 ・塗料/コーティング剤のコストを削減可能　　　　　　 ・生産スループットの向上　　　　　　　　　　　　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー