人協働ロボット搭載AGV

PR理想の1台が手に入る！人協働ロボットで進化したラボ・オートメーションを…

「人協働ロボット搭載AGV」は、人協働ロボット「MOTOMAN-HC10 (可搬重量10kg)」を搭載し、試験に必要な資材の運搬を行います。 各試験ロボットセルを繋ぎ、進化したラボ・オートメーションを実現。 カスタマイズに完全対応しており、牽引型、特殊車体も検討が可能です。 また、自由なレイアウトを可能にする非接触充電システムを搭載しております。 【特長】 ■停止制度：公称...

メーカー・取り扱い企業： 田辺工業株式会社

シース外径Φ1.8mmのシーズヒーター『細径シーズヒーター』

PRシース外径φ1.8mmにより自由で複雑な曲げ、巻き加工が容易に。様々な…

一般的にΦ1.8mmなどのシース外径の細いヒーターは”マイクロヒーター”と 呼ばれます。”マイクロヒーター”は直線状の発熱線が使われているのが特徴 です。 弊社の『細径シーズヒーター』は、マイクロヒーターとほぼ同じシース外径 でありながら、コイル状に巻かれた発熱線を使用しています。そのため、 発熱線の仕様によってさまざまな抵抗値を選べるので、ご希望に合わせた ヒーター長、容量の細径...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

マニュアル・レジスト／塗布現像装置

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。

ュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板にも対応可能な自由度の高い、高性能装置です。レジスト系統数や現像液系統数、BSR（バック・サイド・リンス）／EBR（エッジ・ビード・リムーバ）の自由な組み合わせが可能です。 「ラインアップ」 ●モデルLSC...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

エアーナイフ各種

エアーナイフ各種

●弊社のエアーナイフは、切れ目の無い均一なエアーを吐出します ●また、シンプルな構造で優れたエアー吐出性を確保しています ●長さはミリメートル単位で自由自在。短納期、低価格で提供します 【特長】 ◆コンプレッサー工場エアー用、および送風機ブロワー用等、 　各種ノズルを準備しています。 ◆水切り用から、表面処理均一加熱用、湿度の均一性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒートテック

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

ェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【複数サイズウエハの段取り替えがないメリット」】 ■ダウンタイムが少なく高稼働 ■段取り替え後の調整ミスによる装置、デバイスの破損を防ぐ ■自動ウエハサイズ認識で処理レシピ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

500℃温度サイクル用薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

500℃温度サイクル用　薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

　曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度から計算されるため 　膜付けの前後で曲率半径を測定し、その差を算出することにより 　曲率半径の変化量（R）を求める ○測定チャンバー内の温度を自由に設定できるため 　実際のプロセスおよびIC動作時の環境下での薄膜特性を 　より正確に把握することが可能 ○ガラス基板測定用オプションもご用意 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト科学株式会社

プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』

複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法による…

。 高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを 発生させずに処理を行うことが可能。 高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および 自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比較して優れたダイ強度を 提供いたします。 【特長】 ■ダイの品質/歩留まり/ダイ形状の自由度向上に優れた処理能力で貢献 ■複数サイズのウェハに対応(...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

試料研磨機　個別荷重式『Rana-5（ラーニャ5）』【日本製】

16個の研磨条件を記憶可能！研磨中に2ステップの運転設定をすることがで…

【試料回転部の仕様】 ■ホルダー回転：50～200rpm(正転・逆転切替可能) ■モーター出力：AC　120W　ブラシレスモーター ■試料数：1～6個で自由選択(※φ50mmは最大3個) ■試料ホルダー：25・30・40・50mm、インチ径、特注サイズ　※オプション ■加圧力：試料1個に対し10～50N ■ルーブリケーター：標準付属(流量アナログ...

メーカー・取り扱い企業： アイエムティー株式会社

半導体モールド金型用セルテスXコーティング

先進の真空プラズマ技術による低温PVDコーティングです。

は0.29と低い摩擦係数を示す ○純水液滴の接触角は100度以上で、他の硬質薄膜より高い撥水性 ○エポキシ樹脂に対して良好な離型性を有する →純水とヨウ化メチレンの接触角測定から計算された表面自由エネルギーは25mN/mで表面での反応が起こりにくい ○環境負荷低減（RoHS 適合） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所

LEDテーピングチェッカー OLC-1F

テーピング用に低コスト、ポカよけセンサとして最適です。オプションも充実…

■ 1. 電流印加・検出 　　300mA | 100uA (2レンジ/12BIT) 2. 電圧印加・検出 　　10V (1レンジ/12BIT) 3. 印加時間設定 　　0.01ms単位（自由設定） 4. 方向判定機能 　　2方向 5. 検査条件設定 　　最大100件（同一項目でも検査条件を変えて複数の検査が可能）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーテックエレクトロニクス

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…

圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』

JIS標準ラックに収納できる！目的に合わせて各ユニットを自由に組み合わ…

『低加速SEM・計測/解析用電源ユニット』は、小型電子線鏡筒 MINI-EOC用の操作電源です。 JIS標準ラックに収納可能で安定性があります。 また、用途に合わせて各ユニットを自由に組み合わせられます。 【特長】 ■JIS標準ラックに収納可能 ■お客様の目的に合わせて各ユニットを組み合わせ可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ

高純度ケミカル・半導体用ノンスピル継手（ジョイント・コネクタ）

液ダレなしにワンタッチ接続が可能に

ティック継手の特徴＞ 軽量で低価格。 錆（さび）対策に。 気体と液体両方に使用可能。 オールプラスティック製はディスポも可。 無塵クリーンルーム対応品は、医療、精密機械にどうぞ。チューブが自由に回転でき、ねじれを低減、使用中のチューブ脱落事故を防止。弁付タイプでは、加圧下で外しても液体（気体）を自動的にストップ。 金属イオン　溶出対策に効果的です。...

メーカー・取り扱い企業： CPC（コールダー・プロダクツ・カンパニー） スウェップジャパン株式会社CPC製品事業藤沢事務所

マルチレイアウトラッピングシステム『Trinity-Y』

無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。

マルチレイアウト型多機能ラッピングシステム「Trinity‐Y」は、ワイドギャップ半導体等の次世代の材料に対応するために開発された装置で、各種新素材に最適な機構を自由に選択することができ、その機能を1台に集約することで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてく...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

く、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

位置決めサポート！センタリングユニット「PVXM series」

製造現場での各工程におけるワーク等の微妙な位置決めを短時間かつシンプル…

底面が平面ではないワークを荷重を受けながら360°自由方向へスライドさせ、位置決め可能な特殊ユニットです。通常の使用方法は4個以上でワークの荷重を受けます。本製品には動力はないため、設備側のシリンダー等でワークを押すと、ユニットの天板がスライドし、給気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイテック

エアベアリングシリンダ

摩擦抵抗ゼロのエアベアリングシリンダ

・シリンダ径φ10～φ198までの豊富なバリエーション。 ・自由設計による特殊対応が可能です。 ・エアベアリングの内製化による驚きの低コストを実現しました。 ・金属焼結体エアベアリングの採用によりクラス最高の横剛性を発揮。 ・オリフィスタイプなど他のエアベ...

メーカー・取り扱い企業： 日東商事株式会社