MANNER社製『テレメータ』

PR自動車、航空機、船舶、タービン、押出機等の回転体で、様々な計測技術を提…

-　回転体のトルク、測温、振動等の計測に -　標準パッケージからカスタムパッケージまで豊富な選択肢 -　誘導式、中距離伝送タイプ等、様々な機種展開 -　タービンのような高速回転、エンジン、トランスミッション内の耐熱等、優れた環境負荷性能 -　1~124chまで用意でき、カスタムハウジングも用意 -　高応答周波数、高サンプリングレート -　短い遅延時間で信頼性あるリアルタイム計測 -　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツイ 東京本社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　　　 　　 搬送...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　 安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能 ...石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の１／３である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。...気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触式 直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…

・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ダイシングリング洗浄装置『株式会社 高田工業所製』

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類…

今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？ 本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。 　・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ） 　・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ） 上記の2種類をラインナップしております。 お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コスト...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

株式会社ジャステム　事業紹介

測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

【半導体関連　製品情報】 ○測定機 →Si、SiC、MEMS、太陽電池、サファイアウェーハ製造の各工程に向けた 　各種測定機（厚さ、低効率、直径等）を製作 →用途に合わせた接触式・非接触式などの測定方法、クランプ方式、 　自動機・手動機などを選択可能 →測定値の出力も表示のみからPC取り込み・演算・マッピングなど 　各種ソフトの対応が可能 →スタンドアローンだけでなく、イン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて、カスタマイズが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-3343」

プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション

12インチ（300mm）対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。 マニュアル装置に「肝心の貼付け作業だけでも自動化」し、さらに「貼り付け条件の設定と貼り付け品質の定量的な管理をしたい！」と希望されるお客様にお応えする装置です。 経験の浅いオペレータでも、熟練者のような安定した品質での貼り付け...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。

◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ◆機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現...ウェハー横置き、枚葉式ファインジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

・測定位置は自由にセッティング可能です。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション） ・Siウェーハ（テープ付含む）の厚み測定も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム