【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

レーザーマーカー『UBI Basic』

PR安全性が高いClass1製品仕様！高出力パフォーマンスでリーズナブルな…

『UBI Basic』は、アルミ・鉄・SUS等の金属部品、工具、銘板などの 小・中型ワーク向けの高出力でコストパフォーマンスに優れたレーザーマーカーです。 一品一様のマーキング工程に適しており、独自のMicro aWave レーザーソースにより様々な対象物にマーキングが可能。 Z軸ボタンによりステージの昇降、電磁式インターロックを 標準搭載、正面スタートボタンで簡単にマーキング開...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東陽 グローバル商品課

透明ヒートステージ

パネル形状の透明ガラスヒーターをユニット化

・透明なまま発熱するパネル形状のガラスヒーターをホルダに組み込み、各種サイズにてユニット化しました。 ・温度制御装置が付属しているので、届いたその日から直ぐに使えます。 ・部品ごとに在庫していますので短納期で対応します。特注にも対応可能です。...・透明ガラスヒーターに温度センサと通電接触部をホルダユニットに組み込みました。 ・最大耐熱温度60℃と200℃の2種類があります。 ・寸法は50...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブラスト

カスタム自動XYステージ　「TXY200型」

自社の生産、検査、試験工程の自動化を安価に実現いたします

カスタム自動XYステージ「TXY200型」は、簡易カスタム自動XYステージ です。周辺機構（ステージ部、機器取付け部など）、ソフトウェア、ストローク、耐荷重などもカスタマイズ可能です。生産、試験工程の自動化に最適です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 ...【特長】 ○標準ストローク（100,150,200mm）タイプ ○生産、試験、検査工程の自動・半自動化、省人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

小型ヒートステージ　PH121

超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能で…

評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。...◎既存のステージへヒートステージを追加 ◎超薄型であり、様々なアプリケーションへ適合 ◎サイズ、取り付け用インターフェース、天板材質など、カスタマイズ可能 ◎温度コントローラー（別売）により、幅広い温度設定が可能（50-250℃） ◎小型、薄型など、工程や作業に合せて製作可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

恒温・均熱ステージ　PJ100

精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに！！サイズなどカス…

サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5℃）◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ（平坦度）◎温度設定範囲15-40℃。...☆カスタマイズ可能！！ 　　・ステージサイズ：100×100〜300×300（mm） 　　・ステージ表面処理：アルマイト、Niめっき、テフロン処理 　　・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

湿度制御付冷却加熱ステージ『Rh10002L 型』

光学顕微鏡・顕微鏡・レーザー顕微鏡・顕微FTIR・顕微ラマン用冷却加熱…

『Rh10002L 型』は、これまで困難であった試料室の相対湿度を制御し、 サンプルの温度を可変することができるステージです。 温度と湿度を厳密に制御することで、顆粒剤や散剤といった固形製剤の 吸湿性の評価や食品の温度と湿度による結晶変化、フィルムや繊維の 表面形状の変化等の観察を行うことができます。 顕微鏡はもちろん、移動が容易にできる装置ですのでレーザー顕微鏡や 顕微FT-...

メーカー・取り扱い企業： ライフィクスアナリティカル株式会社

カスタム手動XYステージ　「SXY100型」

治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能な手動XYステージです。 …

カスタム手動XYステージ「SXY100型」は、台形ネジ、リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージです。治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です。1個のご注文でも低価格（100mmストロークで8.5万円）。詳しくはカタログをダウンロードしてください。...【特長】 ○標準ストローク（100,125,150,200mm）タイプ ○台形ネジ、リ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ウォーキングビーム搬送式　加熱炉・硬化炉

加熱工程の自動化に貢献！昇温時間が短く、プロファイル作成可能な加熱法で…

当製品は、全自動生産ラインに組み込み可能な、インライン対応加熱炉です。 基板・トレイをローダーから取り込み、枚葉処理にて加熱ステージへ 搬送し昇温いたします。　 熱効率の良い熱伝導を利用した昇温工法を採用し、省エネ・省スペース性に 優れた加熱炉です。 【特長】 ■全自動生産ラインに組み込み可能 ■インライン対応 ■熱効率の良い熱伝導を利用した昇温工法を採用 ■優れた省...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

顕微鏡インキュベータ

顕微鏡ステージで細胞培養する超小型インキュベータ

・顕微鏡ステージで温度とCO2を制御して継続的に細胞を培養します。ライブセル観察、タイムラプス撮影を簡便に実施します。 ・・最小限の操作で培養環境をお手軽にコントロール、機能性能を絞り込んだコンパクトな構成でお求めやすい価格のパッケージです。 ・カスタムを前提とした組み換え自在なプリフィクス構造で、顕微鏡や培養容器に合わせて柔軟にカスタマイズ...・透明なまま熱くなるガラスヒーターを小型チャン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブラスト

交互加熱型誘導加熱自動ロー付け装置

多彩な制御で高速、確実なロー付けを再現！

ダブルステージ交互加熱タイプで省スペースな 『交互加熱型誘導加熱自動ロー付け装置』をご紹介します。 上下または前後合わせての1軸／2軸によるロー付け動作に、自動出力調節と 時間制御を組み合わせて好適なロー付けを自動で行います。 温度センサを併用して室温や部材の状態によらない細かい 温度制御も可能です。 その他「シングルタイプ誘導加熱自動ロー付け装置」もご用意しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： エス・エー・ジャパン株式会社

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

マイクロリアクター（透明ガラスヒーターユニット）

透明ガラスヒーターによるマイクロ流路用ステージヒーター

・透明ガラスヒーターをマイクロ流路チップ用ステージに組みました。 ・薬液温度を最適管理しながら流れを観察できます。分光分析やレーザー波長解析など光学評価も可能です。 ・温度制御装置BTシリーズと組み合わせ、簡便で精密な温度管理を行います。...・透明ガラスヒーターS051（50角）のホルダをマイクロ流路チップが簡便に装着できる構造にしました。 ・お客様の使用されるマイクロ流路の形状やピッチ寸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブラスト

ガス置換電気炉『BC-VF3000』

卓上で容易に焼成試験が可能なコンパクトボディ！

『BC-VF3000』は昇降式ステージを有し、ステージのセラミックファイバー 台上に被加熱物を設置して炉内に収容、炉内真空、ガス置換が可能な電気炉です。 大気・真空・不活性雰囲気下において1,100℃まで昇温可能（常用1,000℃）。 また、常温から1,000℃までは約10分で到達する高性能タイプとなっております。 ※炉内には、ワークを入れない無負荷（空炉）での昇温速度です。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社バイオメディカルサイエンス

卓上で容易に焼成試験が可能　ガス置換電気炉 「VF-3000A」

コンパクトなのに常温から1000℃まで約10分で到達。加熱物を設置して…

昇降式ステージを有し、ステージのセラミックファイバー台上に被加熱物を設置して炉内に収容、炉内真空、ガス置換可能な電気炉です。 【特徴】 ○容易に焼成試験が可能なコンパクト設計 ○焼成試験に必要な接続ポートを完備 ○使い勝手の良いマニュアル操作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【特徴】 ○卓上で容易に焼成試験が可能なコンパクトボディ ○大気...

メーカー・取り扱い企業： ＳＫメディカル電子株式会社

加熱装置　トランファー送りタイプ

省エネルギーに貢献！当社均熱ブロックを採用した加熱装置のご紹介です

当社が取り扱っているトランファー送りタイプの『加熱装置』を ご紹介します。 小型で均熱範囲の広い加熱ステージを製作出来る為、従来のベルト炉などに くらべ、設置面積が小さく、省スペース。 インライン化にすることにより、24時間安定稼働加熱が可能です。 【特長】 ■多種多様なワークに対応 　・半導体業界、電子部品業界のみならず、自動車業界、食品業界など ■均熱 　・ＵＳ特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州日昌

大面積／メートルサイズホットプレート　PH-20125型

液晶プロセスなど大面積を必要とする加熱工程向け！

PH-20125型は、液晶プロセスなど大面積を必要とする加熱工程向けの超大面積（メートルサイズ）のホットプレートです。120mm高さの超薄型構造で、サイズは800×800mm～1500×1500mm、任意サイズで製作可能です。また、温度コントローラー（別売）を使用し、幅広い温度設定（室温－120℃）および高精度温調が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

加熱工程ウエハホットチャック　PH050

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

高絶縁タイプ　ホットプレート 「PH-121-HI型」

電子部品、基板、ウエハの高温・高電界試験用ステージとして低予算にて導入…

高絶縁タイプ　ホットプレート 「PH-121-HI型」は、電子部品、基板、ウエハの高温・高電界試験用ステージとして、低予算にて導入可能です。 ホットプレートの設置面への固定方法などもカスタム対応いたします。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲　室温～200℃ ○ホットプレートサイズ　標準70×70~125×125mm ○温度精度　±3%(電極上での分布） 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

PBNヒーター『HSOMPBN50』

市販の様々なXYZマニピュレータに適合するPBNヒーター！

『HSOMPBN50』は、電流導入端子を備えたフランジアセンブリを含む 完全に構成された加熱ステージに実装することができるPBNヒーターです。 BOOMERAXマニピュレータにも使用されており、 市販の様々なXYZマニピュレータに容易に適合が可能です。 【特長】 ■完全に構成された加熱ステージに実装可能 ■市販の様々なXYZマニピュレータに容易に適合可能 ■試料のアニーリング...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

MSAファクトリー　加熱機器総合カタログ

装置組込み機器として最適な温度制御ソリューションを提供いたします！

MSAファクトリーは、カスタマイズ可能な高精度ホットプレートをはじめとして、特徴ある温度制御機器の開発を続けてまいりました。 ホットプレート、空気加熱、冷却、光過熱など、貴社の加熱プロセスまたは、装置組込み機器として、最適なソリューションを提供いたします。 【掲載製品】 ○ホットプレート・小型ヒートステージ ○ホットプレートチャンバー ○ウエハホットチャック ○ランプ加熱 ○空気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ウォーキングビーム式硬化炉『APC-WBシリーズ』

加熱部の空間を最小限に設計する事により省エネルギー、省スペースを実現！

『APC-WBシリーズ』は、優れた均熱特性のウォーキングビーム式硬化炉です。 当社独自の特殊巻線ヒーター採用のヒーターステージによる 安定した均一加熱を実現。 さらに、均熱ヒーターステージと独自の温度コントロールにより 急速な昇温が可能です。 【特長】 ■優れた均熱特性 ■独自の特殊巻線ヒーター採用 ■急速昇温 ■省エネルギー ■省スペース ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州日昌

スタック式加熱炉　硬化炉・乾燥炉

加熱乾燥工程の自動化に最適！放熱、炉体周辺温度の上昇を抑え、省エネに貢…

当製品は、全自動生産ラインに組み込み可能な、インライン対応加熱炉です。 熱風を使用しない、炉自体を熱源とする加熱炉で、放熱ロス・周辺環境の温度上昇を抑えた 省エネな加熱炉です。 均熱性能に優れオーバーシュートの無い、長時間の加熱が可能。 基板・トレイをローダーから取り込み、枚葉処理にて個別炉室へ搬送し昇温します。 タクトタイムと昇温時間・加熱保持時間から炉室数を設定するため、 ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

『縦型真空炉』

真空炉内部品の脱気処理や大口径配管（容器）の真空熱処理に最適な縦型真空…

『縦型真空炉』は、加速器の能力増強・付帯設備として製作された装置です。 縦型真空炉で、超大型真空ユニットの空焼処理（アニール・ブレージング）が可能。 本体側の内部に設けたステージですべての作業・処理ができるため、振動を 与えることなく真空熱処理をします。 真空炉内部品の脱気処理や大口径配管（容器）の真空熱処理に適しています。 【特長】 ■超大型真空ユニットの空焼処理（アニー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐鉄工所

超小型・低酸素インキュベータ

え？窒素ガスは要らないの？！顕微鏡ステージで低酸素培養を実現する超小型…

・窒素ガスを使わず低酸素環境を実現できる超小型のインキュベータです。 ・お手持ちの顕微鏡でハイポキシア環境での蛍光観察やタイムラプス撮影を可能にします。 ...・脱酸素剤を制御器のリザーバータンクに入れてタンク内を無酸素状態にし、電磁弁で空気と混合させて設定濃度の低酸素ガスを生成します。 ・低酸素ガスをポンプで超小型の培養チャンバー内と循環させて低酸素環境を実現します。 ・CO2はペットボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブラスト

磁場中熱処理炉『HV-0.5TS』【磁場中での高温熱処理が可能】

非磁性加熱源を採用で、磁場中での高温熱処理が可能！熱処理後に雰囲気をキ…

非磁性加熱源を採用している為、磁場中での高温熱処理ができ、熱処理後 に雰囲気をキープしたまま冷却チャンバに移動し、ガスフローすること によりガス冷却することが可能。 また、冷却水循環装置、各種インターロック付きで、オプションとして 外径50及び60用熱処理チャンバとの交換取付ができます。 【仕様（抜粋）】 ＜熱処理チャンバ/加熱機構＞ ■外径40×長さ236mm 水冷式二重S...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

マイクロ流体チップホルダ LOC CCI 1

オンチップ細胞培養が可能な温度調節機能付きチップホルダ

マイクロ流体チップへの流体の供給と温度調節が同時に可能な，オンチップ細胞培養に最適なチップホルダです。顕微鏡ステージに設置できるため，顕微鏡で観察しながら細胞培養実験を行うことができます。 培地等の流体の出入り口となる，チップのインタフェース部分がホルダに統合されているので，光学検出領域を干渉することなく灌流培養を行うことができます。インタフェースに装着したチューブで，培地を供給する外部のポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

加圧RTA装置

基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！

『加圧RTA装置』は、減圧プロセスから加圧プロセス（0.9MPaG）まで対応 することができる製品です。 加熱源はハロゲンランプ、昇温レートは最大150℃/secとなっており、 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体、MEMS、電子部品といった用途に使用できる装置で、基板表面の 高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能です。 【特長】 ■加熱プロ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スーパービームヒーター　SBH-300A（キセノン300wタイプ）

スーパービームヒーター　SBH-300A（キセノン300wタイプ）

【特長】 ●300Wキセノンランプ 低電力キセノンランプ（300W）で最大の光エネルギー効率が得られ、汎用性、ユーティリティ、ローコストの実現を計りました。 ●ツインミラーシステム ツインミラーシステムによりキセノンランプ光源全てのエネルギーをバンドルファイバーに導入します。（従来の楕円鏡を使用した光源系では集光点を小さくすると光束が大きな角度をもち、ファイバーでの有効な光エネルギー...

メーカー・取り扱い企業： インフリッヂ工業株式会社

ブロックタイプホットプレート「PH122-600型」

硬度計、材料試験器、分析器などへの加熱ステージ追加に最適！サイズ、カバ…

「PH122-600型」は、最高温度600℃対応で、均熱性の優れた高温ホットプレートです。試験治具などの加熱を目的としたホットプレート対象治具に合わせた、加熱が可能です。 プレートは均熱性、耐熱性に優れる銅合金タイプで、試験器、分析器の拡張として、導入いただけます。OEM対応いたします。 ＊具体的なサイズ、形状など、ご提示いただけましたらカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ウエハホットチャック「PH-101TIN」

貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！

「PH-101TIN」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

工業用ホットプレート　PA3015

カートリッジヒーター内臓の、超小型・薄型ホットプレートです。300℃ま…

カートリッジヒーター内臓の、超小型・薄型ホットプレートです。別売りの温度コントローラで幅広い温度設定が可能です。小型部品、半導体部品の加熱プロセス。温度評価などの評価ステージに。...◎カートリッジヒーター内臓、高精度温度制御（±0.8％） 　　*さらに高精度タイプについても是非ご相談ください。 ◎超小型・薄型ホットプレート ◎温度コントローラー（別売）を使用し、幅広い温度設定が可能（室温-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー