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PR薄膜の厚さ分布を高速測定!
FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域(Si 換算)まで、 高い精度で値を確定することができます。...分解能: 0.001 nm 精度: NIST準拠ウェハ1000 nm<±1% 再現性: 0.01 nm(ア...
メーカー・取り扱い企業: オプトシリウス株式会社
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PR様々な2本の線でEthernet/RS485を高速通信!第4世代クアト…
PLINE2は周波数帯が従来の2倍になり通信距離・通信量の性能が向上し、帯域を2段階(1/2倍・1/4倍)に縮小することで最大約2倍の長距通信が可能になり、更に帯域を拡張することで高速化に対応できます。 【クアトロコア搭載による新機能】 ■通信モード切替が可能 互換モード:従来品と互換のあるモードです 2倍モード:通信量が従来品の2倍になります 1/2モード:通信距離が...
メーカー・取り扱い企業: 東朋テクノロジー株式会社 エレクトロニクス事業本部
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シンプル構造で低価格を実現!GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…
【仕様】 ■型式:PEC-6 ■エッチング方式 ・Photo-Electro Chemical:光電気化学 ■適応ワーク:□10mm小片チップ、φ2~6インチ ■UVA光源:超高圧水銀灯315~400nm 15mW/sm2以上 ■UVC光源:プラズマ光源220~320nm 12mW/sm2以上 ■薬液供給:2ノズルエア圧縮方式エッチング液...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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2~8インチウェハ対応!デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えて…
紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を ご用意しております。 【特長】 ■2~8インチウェハ対応 ■デバイス製作に必要な高精度アライメント ■高精度な転写圧力制御 ■加熱機構追加オプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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録画機能搭載!貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対…
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
露光光源照度分布は±5%以内!デスクトップ型と自立型のモデルをラインア…
『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。 デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、 自立型でウェハサイ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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検査をロボットで!ニーズに合わせたロボットと検査カメラを組合わせ
現場のお悩みに合わせたロボットシステムをご提案いたします
【標準カメラ】マルチプルイメージャー(2K/モノクロ) ・キズの検出 ・省スペース ・低コスト 1台のカメラで ・複数の欠陥を同時に検出 ・最適な角度で的確に撮像 ・最大8つの照明条件までOK 搭載台数:2台...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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エンコーダ付きステッピングモータでサーボモータ並みの精度を実現
『Si servo3』は2相ステッピングモータにエンコーダを取り付け …
。 【特長】 ■モータ停止時の微小ハンチングなし ■最大6000rpmで回転する超高速モータ(0.3Nタイプ) ■全機種に10,000パルス/revのエンコーダを搭載 ■0.05Nから2.0Nタイプまでのモータをご用意 ■名刺1枚分の業界最小クラスのドライバー ■9種類のモータラインナップ ■ポイントテーブル機能により単独運転可能 【採用事例】 1.ビジョンシステム ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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4inと8inサイズをご用意!アライメント露光が可能な多品種量産用半自…
【その他の仕様】 ■露光光源:照度分布±5%以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±2μm ・Bottom-side ±5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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