アリ溝式ステージ『セルフロックステージ　SLXシリーズ』

PR特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロー…

バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。 手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。 高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラック光学

片持ち軸付で取り付けが簡単&スピーディー！『棒ローラー』

PR組立が簡単で工数削減に！片持ち軸付き棒ローラー。10種類以上のサイズを…

『RA型』は、片持ち軸付ですので組立のわずらわしさが無く、 スピーディーな取り付けが可能な矯正装置『棒ローラー』です。 取り付け軸(N部)に、二面幅(W)が施されているので、 長穴と組み合わせれば、回り止めになります。 さらに、10種類以上の様々なサイズを用意しており、 自社設計でワンストップサービスでのご提供！ ご要望に合わせてご活用いただくことはもちろん、カスタマイズも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社鈴城製作所

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ...リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar (abs) DN 100-160: ～2 bar (abs) ゲートにか...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JI...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

溶接ベローズ

革新的なソリューションをもたらすVAT溶接ベローズ

VAT溶接ベローズのおもな特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命にあります。 1. お客様のご要求に柔軟に応じつつ、より実際のご使用環境・条件に即してベストな材質・形状をご提案する十分な実績がございます。 2. 軸方向伸縮動作のみならず、軸直角方向動作が複合した状態での連続動作、及び差圧環境下や加熱環境下での耐久試験に基づく十分な信頼性がございます。 3. ISO5クラスのクリ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい...開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード...リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン ...開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社