【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

【資料無料進呈中！】乾燥剤（除湿剤／吸湿剤）の使用事例と注意点

PR塩化カルシウム系乾燥剤（除湿剤／吸湿剤）の使用事例と注意点を掲載してい…

当資料では、乾燥剤の使用事例と注意点についてご紹介しております。 乾燥剤について基礎から種類ごとの特長・吸湿性能までを説明。 また、海上コンテナと個包装における塩化カルシウム系乾燥剤の 使用事例と注意点について解説。 当社は、乾燥剤の見直し・最適化に向けてサポートいたします。 お気軽にお問い合わせください。 【掲載内容】 ■Chapter 01.乾燥剤の基礎知識 ■Chapter 02.塩化...

メーカー・取り扱い企業： 鈴与商事株式会社 化学品営業部

ALD（原子層堆積）装置

2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現…

160×890×1940ｍｍ プリカーサ本数：最大５本 【成膜応用事例】 Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。 【ALD受託成膜サービス】 弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手伝いさせていただきます。お客様立ち合いによるライブデモや、ご希望のレ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

低温ALD装置　CVA series

ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能！

緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能 　・ほとんどの金属酸化膜に対応可能 　・どのような基板（材質、平坦性、形状等々）でも密着性良く成膜可能 　・用途に応じた膜厚の制御が可能 　・室温で成膜可能 PETボトルコーティング活用例 　・アルコール飲料（軽量化・ロングライフ化） 　・医療・化粧品（容器の低コスト化、意匠性・透明性、酸アルカリ封入） 　・燃料（軽量小型燃料電池、フレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能 ...【コーティング活用例】 　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

ALD成膜サービス

細くて深い溝にも綺麗に成膜できる！新しいMEMS受託加工サービスのご紹…

従来のCVD法で生じた成膜のムラをALD法を使って解消しませんか。 ALD（Atomic Layer Deposition）では原子レベルで一層ずつ成膜するため、細く深い溝にも緻密に成膜することが可能です。 6インチ及び8インチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

クリエイティブコーティングス『気相技術』

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

など『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。 また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。 蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。 【特長】 ■ALDロボットCVA series 　ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能 ■バレル型ALDロボットCVA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。 生産工程を飛躍的に向上させます！ 多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ 　・スパッタ 　・蒸着 　・CVD 　・ALD 　・DLC ■ウェット 　・ディップ 　・スプレー 　・印刷、転写 　・ダイコーター 　・ディスペンサー 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』

MEMSデバイス試作から量産まで！お客様の未来創りをMEMS技術でお手…

ポートいたします。 【サービス紹介】 ○PZT圧電薄膜成膜・エッチングサービス ○ガラス加工請負 ○ウエハレベルパッケージ(WLP) ○Si深掘りエッチング(DRIE)サービス ○ALD成膜サービス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン