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枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT
装置寸法:1200W×1100D×2000H (200CBT)/150…
【特徴】 ■装置寸法 1200W×1100D×2000H (200CBT) 1500W×1100D×2000H (300CBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 MAX...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
【特徴】 ■装置寸法 2000W×1200D×2000H (200WCBT) 2000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 MA...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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CO2ガスによる自動消火システムを装備
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...【特徴】 ■保安装置 ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、設定値を超えると警報を 発し、ヒーター電源を切る ■IPAの供給/廃液 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
【特徴】 ■装置寸法 2700W×1500D×2000H (200WCBT) 3000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 MA...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。...【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄 ■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 バック...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT
装置寸法:1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500…
【特徴】 ■装置寸法 1200W×1100D×2000H (200CBT) 1500W×1100D×2000H (300CBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 MAX...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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装置寸法:2000W×1200D×2000H (200WCBT)/20…
【特徴】 ■装置寸法 2000W×1200D×2000H (200WCBT) 2000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300CBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 MA...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能 【特徴】 ■装置寸法 2700W×1500D×2000H (200WCBT) 3000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″) マスク □4″~□6″( 同 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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