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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、…
◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ 小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程(CVD、PVD、ALD)の研究開発にご使用いただけます。 IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本レーザー
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