フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

簡単大気圧でSiO2コーティング！プラズマコートUL-Colat

弊社にてデモ可能！ 市場初投入の新技術。大気圧プラズマでＣＶＤ。 …

今まで減圧下で行っていたプラズマCVDによるＳｉＯ２製膜を大気圧下で行えます。 厚みは処理条件によりコントロール可能。（速度、液量、距離など） 今までの大型CVD装置では対応しきれない少量生産や、細かな条件変更を可能にし、製膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

【特許技術】DLCを超えたスーパーDLCコーティング

FCVA方式により、スーパーＤＬＣ（水素基フリーのta-C膜）、Mic…

FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜（ta-C...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。 生産工程を飛躍的に向上させます！ 多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ 　・スパッタ 　・蒸着 　・CVD 　・ALD 　・DLC ■ウェット 　・ディップ 　・スプレー 　・印刷、転写 　・ダイコーター 　・ディスペンサー 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

部品の傷付き、摩耗にお困りの方必見。水素フリーDLC（ta-C）膜は高…

フィルタードアーク方式（FCVA）による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、 既存のPVD方式やCVD方式と異なり、電磁フィルターにより不純物を除くため、 パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン