Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

排ガス除害・除粉装置・ウェットスクラバー　Panacea

ドライエッチ、CVD、エピタキシャル成長プロセスから排出される、有毒ガ…

高効率ミキサーを使用して、半導体、液晶工場等のドライエッチング、CVD工程等で発生する排ガス中に含まれる塩素等のハロゲンガス、粉体生成物等を水のみで除害します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

排ガス除害・屋内タイプ大流量ウェットスクラバー　EXシリーズ

バブリング・スプレー方式で国内外で1000台以上の納入実績あり！ 信…

従来のバブリング・シャワータイプで、小～大流量ガス除害(最大~60m3/min)に最適です。対象ガスはCl2, HF, HCl, HNO3, NH4, CVD燃焼排ガス, 有機・無機系ガスでNaOH薬液供給も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス