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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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CVD方式、アーク放電式の二つのシステムを用意しました。
最新の技術 ラボ・学校教育用 ナノチューブ生成機は小規模生産用ラボ器で2~3時間の授業時間中に準備からナノチューブの製造まで特別な技術を要しないで簡単短時間に生成できます。学生や初心者が安全に作業できるように配慮した設計で一般的なCVD方式のほかに短時間で生成が可能で品質の良いアーク放電式の二つのシステムを用意しました。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○小規模...
メーカー・取り扱い企業: エイアールブイ株式会社
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