サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ARO社ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 2”金属製フラップ弁

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　651 l/min 　CC/サイクル：　5,300 　エアインレット：　3/4" NPT 　流体インレット：　2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　51 mm 　重量：　44.2 kg(アルミ)...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 1-1/2” 金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

比率：　1:1 　最大吐出量：　465.6 l/min 　CC/サイクル：　2,340 　エアインレット：　1/2" NPT 　流体インレット：　1-1/2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　1-1/2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　6.4 mm 　重量：　17.1 kg...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 1” 非金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

【仕様】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　200.6 l/min 　CC/サイクル：　860 　エアインレット：　1/4" NPT 　流体インレット：　1" ANSI/DINフランジ、1" NPT/BSP 　流体アウトレット：　1" ANSI/DINフランジ、1" NPT/BSP 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　3.2 mm 　重...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 2” 金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　651 l/min 　CC/サイクル：　5,300 　エアインレット：　3/4" NPT 　流体インレット：　2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　2" NPT/BSP/ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　6.4 mm 　重量：　41.5 kg(アルミ...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 1-1/2”非金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

仕様】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　465.9 l/min 　CC/サイクル：　2,340 　エアインレット：　1/2" NPT 　流体インレット：　1-1/2" ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　1-1/2" ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　6.4 mm 　重量：　19.3 kg(ポリプロピレン...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 2” 非金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

【仕様】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　696 l/min 　CC/サイクル：　5,300 　エアインレット：　3/4" NPT 　流体インレット：　2" ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　2" ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　6.4 mm 　重量：　38.7 kg(ポリプロピレン)、50...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社

ARO社 ダイアフラムポンプ EXPシリーズ 3” 非金属製

中間停止と凍結問題にもう悩まない！ 特許取得のバルブテクノロジーによ…

【仕様】 　比率：　1:1 　最大吐出量：　1,079 l/min 　CC/サイクル：　10,600 　エアインレット：　3/4" NPT 　流体インレット：　3" ANSI/DINフランジ 　流体アウトレット：　3" ANSI/DINフランジ 　最高吐出圧：　0.83 MPa 　搬送液内固形物許容直径：　9.5 mm 　重量：　77.11 kg(ポリプロピレン)、1...

メーカー・取り扱い企業： タイヨーインタナショナル株式会社