ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型超音波モータ（ピエゾモータ）『EDGEモータ』

ナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）

EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。 このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム

超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタ…

用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomoti...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑

【真空にも対応】精密位置決めステージシステム

高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの…

1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 ■EDGEモータ（小型軽量） 最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社工苑