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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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薄膜コーティング用特殊ガンバルブ(薄膜スプレーコータ装置用)
長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…
ィング装置(スプレーコータ)はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状(3D)デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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長年の薄膜コーティング技術&膜形成のノウハウ&データベースで、お客様の…
ングをご利用ください。 弊社の薄膜コーティング装置は小型から大型まで、R&D用から量産用まで、お客様のニーズにお応えしてカスタマイズし、特注仕様で製作します。これら弊社コーティング装置は、量産用MEMS製造装置やMEA塗布装置として数多くの実績が有ります。 慶應藤沢イノベーションビレッジ(SFC-IV)で試作を実施しています。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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