オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

研究開発用小型実験装置 Mini-Lab

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つ リソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるよう ご提案。全工程の小型装置を取り扱っております。 大型実験装置レベルの機能を有し、コンパクトで高性能な小型装置を取り 揃え、安価・小...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ

フォトレジスト薄膜コーティング試作（薄膜試作・開発支援）

コーティング困難な凹凸デバイスへ、フォトレジストの薄膜塗布を可能とした…

凹凸立体形状のMEMSデバイスへ、フォトレジスト薄膜のコーティング試作をしています。数枚から大ロットまでフォトレジスト薄膜形成の試作をご提案しております。 凹凸・立体（３D）形状に対してのレジスト塗布方法に問題を抱え...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

＜装置の使用例＞ ・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等 ・レンズ：ハードコート、反射防止膜、防曇膜等 ・太陽電池：Ti02、保護膜、着色膜等 ・化合物半導体：高輝度LED等 ・MEMS：レジス卜等 ・液晶：レジス卜、ブラックマトリックス、Mgo等 ・有機 EL：高分子等 ・プリント基板：銅膜形成、レジス卜、埋め込み、平坦化等 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

マスクアライナー

セミカスタムで最適なシステム構成にできます

汎用マスクアライナーES20シリーズ以外にウェハ両面同時露光タイプや裏面観察式マスクアライナーなど各種ラインアップしております。 フォトリソグラフィ関連装置およびMEMS研究開発支援装置など、お客様の仕様に合わせたカスタム装置開発製作も承っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

ィング装置（スプレーコータ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スプレーコーターによる機能膜形成加工サービス

機能薄膜コーティングのソリューションを提案。　　　　　　　　　　　～薄…

立体形状のデバイスの薄膜コーティングを試作を数枚から大ロットまで薄膜形成加工サービスを提案中です。 半導体からMEMS・電子デバイス・エネルギー業界まで数多くの実績があります。凹凸・立体（３D）形状に対しての塗布に問題があり、お困りでしたら是非ご相談ください。 お客様の「レンタル試作課」として日々活動をしていま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

～微粒子を科学する～スプレーコーターによる薄膜形成試作・開発支援

機能薄膜コーティングの開発・試作を提案。　（コーティング装置を購入せず…

するお困りのことがございましたら、ご連絡をいただければ解決のお手伝いをさせていただきます。 お客様の「レンタル試作課・開発課」としての活動を是非ご利用ください。 電子デバイス・エネルギー・MEMS・半導体業界に数多くの実績があります。 つくば産業技術総合研究所様や横浜国立大学様、信州大学様とも産学連携するほか、数多くの研究試作支援を実施しています。 現在、慶応藤沢SFC-IVで活動をし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

『IS型シリーズ』は小型・軽量でラボテーブル上に設置できる薄膜コーティング装置です。凹凸デバイスの段差面やエッジ部の形状に対応した薄膜コーティングを提供します。 立体（３Ⅾ）サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

大型薄膜コーティング装置（スプレーコーター）SP600型

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様の…

ングをご利用ください。 弊社の薄膜コーティング装置は小型から大型まで、R&D用から量産用まで、お客様のニーズにお応えしてカスタマイズし、特注仕様で製作します。これら弊社コーティング装置は、量産用MEMS製造装置やMEA塗布装置として数多くの実績が有ります。 慶應藤沢イノベーションビレッジ（SFC-IV）で試作を実施しています。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スプレーコーター装置による撥水膜コーティング試作支援

大面積で、薄膜コーティング困難なデバイスへ、超薄膜均一塗布を可能とした…

います。 凹凸・立体（３D）形状に対しての薄膜塗布プロセスに問題をかかえてお困りでしたら、是非ご相談ください。 お客様の「レンタル試作課」として日々開発支援活動をしています。 精密塗布関連やMEMS関連では、つくば産業技術総合研究所様や横浜国立大学様、信州大学様とも技術連携し、研究機関や民間企業へ数多く試作支援を実施しています。 またMEMS業界へのコンサルタントや、スプレーコーター装置な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所