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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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強度と接触抵抗を減少。高周波特性を改良。
最新の技術 ロジュームナノチューブメッキは表面硬度が硬く、長寿命接点に採用が進んでいる。高周波抵抗の低減のためカーボンナノチューブメッキ法などの研究を行いながら近年は、シリコンウェハーへのMEMS接点の作成などに利用が急増している。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: エイアールブイ株式会社
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EPAM人工筋肉の未来(ポリマーアクチュレーター)
ル応力が働き電極間が縮小。 ○はさみこまれているポリマーが変形膨張しその変化を利用したものです。 【その他の特徴】 ○EPAM人工筋肉(誘電性エラストマ)をアクチュエータとした高周波用 MEMSメカニカルリレーの開発。 ○動作原理 →駆動端子に電圧(+V)を印加するとEPAM人工筋肉が伸びて接点が動作(ON状態)する。 →電圧を切るとEPAM人工筋肉が縮み元のポジションに戻りグラン...
メーカー・取り扱い企業: エイアールブイ株式会社
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