フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

太陽電池の最大電力点で動作「MPPT負荷装置」シリーズ

PR独自MPPT制御機能を採用し、様々な太陽光の照度・角度・温度条件で最大…

太陽電池モジュールの最大動作点（Pmax）で追従する装置です。 太陽電池の発電性能を評価するには、太陽電池を実際に発電状態にする必要があります。負荷を接続しないと電流は流れませんので、発電性能を計測できません。 本装置は太陽電池を接続することで、その出力電力を内部で熱に変換することにより消費します。最低限の計測環境を構築するだけで太陽電池の発電量計測が可能です（本装置内で毎秒電圧・電流・電力を...

メーカー・取り扱い企業： 日本カーネルシステム株式会社 本社

両面コンタクトプローバ『PCP-102WS』

大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタ…

『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラムファイブ

プロービングハンドラ『PCP-103SL/303N』

多数個同測に対応したプロービングを実現！ダイシング後の位置ずれを補正

株式会社プラムファイブで取り扱う、『PCP-103SL/303N』をご紹介いたします。 ダイシングされたWLCSPやパッケージ基板（BGA、QFN等）のハンドラ装置での 検査を独自のコンセプトであるプロービング方式で実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラムファイブ