フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

＜CSPI-EXPO出展＞軸穴加工機『WSシリーズ』

PR多彩なラインアップで様々な“径”に対応する携帯型旋盤加工機！

『WSシリーズ』は、セッティングを実施後自動制御で軸穴のボーリング加工・溶接加工が可能な軸穴加工機です。 コンパクトなボディで現場加工・修理に対応します。 また、多様なサイズ径に対応した豊富なラインナップをご用意。 様々な軸穴の再生を可能にします。 【特長】 ■セッティングを実施後自動制御 ■軸穴の ボーリング加工・溶接加工が可能 ■携帯型旋盤加工機（+溶接機） ■コンパクトなボディで現場加工...

メーカー・取り扱い企業： 大陽工機株式会社 本社

パイロットバーナ『PLM・PLL』

パイロット用だけでなく単独でも使用可能！直進炎タイプのパイロットバーナ

『PLM・PLL』は、直火型のパイロットバーナです。 火炎タイプは直進炎、燃焼量は5.1kW～20Kwとなっています。 また元混合方式のバーナで、パイロット用だけでなく単独でも使用できます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社成田製作所

915MHz　半導体式マイクロ波加熱実験装置

半導体式マイクロ波加熱実験装置　発振周波数915MHz　各種電池材料の…

による加熱より、短時間で実験が可能です。ラジオのチューニングのように発振周波数（860〜960MHz　連続可変式）の可変が可能。オプションとしてパルス巾変調・FM変調・AM変調・発振周波数の掃引・PLL式周波数発生器、出力電力のパターン運転やパソコンとのリンク、試験管、石英管、フッ素チューブ等を用いた減圧、ガス置換などができます。主な仕様はマイクロ波出力：300W　　発振周波数：915MHz（8...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工機株式会社 第1機器部

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

g を10秒で20℃→700℃） ラジオのチューニングのように発振周波数（5.7〜6.0GHz　連続可変式）の可変が可能。 オプションとしてパルス巾変調・FM変調・AM変調・発振周波数の掃引・PLL式周波数発生器、出力電力のパターン運転やパソコンとのリンク、試験管、石英管、フッ素チューブ等を用いた減圧、ガス置換などができます。 主な仕様はマイクロ波出力:130W、電源入力：単相 AC100...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工機株式会社 第1機器部

プラズマインジケータ『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』

大気圧プラズマ用に超高感度が登場！マイルドなプラズマに対応

■構成 ・本体：クリーンペーパー ・検知部：有機色材、レジン ■サイズ ・本体：35×300×0.2mm ・検知部：300×15mm ■耐熱性：100℃ ■入数：20枚 ■略号：PLL0430-40 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』＜ラベル型＞

シールのように貼付け可能なラベル型！半導体の後工程など幅広く使用可能

度)＞ ■耐熱性：100℃ ■構成 ・本体：PETフィルム ・検知部：有機色材、レジン ■サイズ ・本体：20×70×0.2mm ・検知部：φ11mm ■入数：100枚 ■略号：PLL0207-20 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

ナノ潤滑膜評価装置

単分子膜の存在形態や、配列構造に依存した摩擦特性の測定ができます

■回転数：0.1～100rpm(設定1rpm未満0.01rpm単位、1rpm以上0.1rpm単位) ■回転ジッタ：0.1％PP以下 ■回転制御方式：エンコーダ(324,000ppr)によるPLL制御 ■加重機構：クローズドループ制御のピエゾにより0.1μmの分解能で負荷/徐荷 ■最大計測摩擦力： 50mN/10V(分解能5μN) ■センサ 　・摩擦力測定：静電容量変位計極微小力セ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクアルファ

ロックインアンプ

1台で様々な計測が可能なオールインワンタイプのロックインアンプ

期フィルタ（Synchronous filtering） ロックイン周波数10MHz ダイナミックリザーブ135dB 20MHzスペクトラムアナライザー 位相分解能0.001° PLL機能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サイエンスラボラトリーズ

超音波一般産業用洗浄 ＱＵＡＶＡ　Ｍｕｌｔｉ

３種類の周波数を発生する新世代洗浄機【特許登録済み】

■特徴 ●パネルタッチで３８ｋＨｚ／１００ｋＨｚ／１６０ｋＨｚの３周波を切替 ●１台の振動子で３周波を発生 ●各周波数とも最大出力６００Ｗのハイパワー ●PLL周波数自動追尾／定出力回路を搭載 ●４種類の発振モードを継承し、高精度の精密洗浄が可能 ●最新の管理機能を搭載 ■詳細は、資料請求またはカタログをご覧下さい■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部