イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

PRR＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R＆Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

コスモリサーチのSDRプラットフォーム【COMNEXT出展】

PRホントに使えるソフトウェア無線プラットフォーム

コスモリサーチでは、ソフトウェア無線技術をベースにVHF帯からミリ波までの無線機器の開発製造を行っています。 SDR開発プラットフォームとRFフロントモジュールの組み合わせにより、低リスクで実用的な無線機を提供します。 ...【SPD-booster light+】 　■周波数：TX/RX 50MHz~1GHz 　■帯域幅：～100kHz BW 【SPD-booster x5G10】 　■周波数...

メーカー・取り扱い企業： コスモリサーチ株式会社

電磁界シミュレーションソフト『S-NAP PCB Suite』

プリント基板のノイズを可視化！開発期間の短縮や制作費用の削減に効果大！

【用途】 ●静電ノイズを印加した場合の各端子に現れるノイズ波形や 　ノイズが重畳した信号波形の解析 ●DCDCコンバータやモーター制御パルスなどの高調波ノイズの解析 ●RF信号による各端子への誘起電圧の解析 ●端子間のインピーダンスの解析 ●ジャンパー線接続やキャパシタ追加などによる特性差の解析 【解析モード一覧】 ●オシロスコープモード ●テスターモー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・イー・エル

シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール（SMCSM）

内蔵のシースモデルを用いて、短時間で計算することが可能です！

PHMの計算結果（シース電位差等）を用いて、基板／ターゲット表面の 　イオンエネルギー分布等を計算する ■計算モデルは単純なため、計算時間がかからない ■内蔵のシースモデルを用いることにより、RF放電装置内の基板への 　イオンのエネルギー分布（IED）を簡単に推測可能 ■PHMの計算結果を用いれば、装置の電圧、ガス圧等のパラメータと 　IEDの関係などが評価できる ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Part...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Par...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社