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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます!ご希望の成膜箇所をお聞…
、B、Ti、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など 積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr など 酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO など 窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など 炭化膜:SiC、Ti...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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