マグネトロンスパッタ装置『scia Magna 200』

最大200mm径基板！ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer …

『scia Magna 200』は、回転式単体マグネトロンの マグネトロンスパッタ装置です。 アプリケーションは、TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)、AlN等圧電膜、 光学用高・低屈折膜、絶縁膜(Si3N4, SiO2, Al2O3)です。 また、プロセスはマグネトロンスパッタとなっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

PVD装置

ダブルリングマグネトロンDRM400を搭載したPVD装置

るユニポーラ・バイポーラモードの選択、且つ基板回転機構・冷却機構・RFバイアス機構を搭載した、 　優れた膜厚均一性、超高速成膜可能なPVD装置です。 ●アプリケーション 　SAWフィルター(SiO2膜)、圧電膜(AlN膜)、光学系(Si3N4, SiO2, HfO2, Ta2O5, Al2O3)、電子部品（Si3N4, SiO2, AlN膜、強誘電体膜）等の分野に最適なPVD装置をご提案致し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

scia Cube 300/450/750

基板バイアス機構！当社のマイクロウエーブPECVD/エッチング装置をご…

【アプリケーション】 ■PECVD：絶縁膜(Si3N4、SiO2等) ■光学用(a-C：H、DLC) ■ナノクリスタルダイヤモンド、カーボンナノチューブ ■RIE：反応性エッチング(Ni、Cr、Pt..) ■光学用材料(クオーツ、フーズシリカ等) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ