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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
高精度の圧力センサ、大気圧計など。 ■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。 ■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。 ■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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最大1,000lpmまでの流量を確保
3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ
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経済性に優れた高精度ラバーシール
特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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高精度・信頼性のメタルシールモデル
特長 ・高速応答性 - 設定値入力後1秒未満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の外部...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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