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姿勢精度2秒以下の高精度を実現!検査装置の位置決めに好適な超精密XYス…
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度...
メーカー・取り扱い企業: 新東Vセラックス株式会社
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光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310
12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響…
も良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■広範囲のエリアスキャン φ310mm ■高分解能 XY20um ビームスポット径40um, 分光干渉方式による高Z分解能 ■XYステージ不要でステージ振動無し ガルバノミラーによるエリアスキャン ■開発コスト低減、開発納期短縮 装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)あり ■用途 12インチウ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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