フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300…

Accubath®　Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

シリコーンラバーヒーター『サミコン230』

発熱体の両面を耐熱性絶縁層（シリコーンラバー）で接着した、薄くて軽いフ…

発熱体が箔状なため、線状のものに比べ被加熱面に対する接触面積が大きく、熱拡散も速く、加熱ムラの少ない、極めて加熱効率の高いヒーターです。 【均質な温度分布】 電力の正確な粗密設計と精巧なエッチング技術により製作された発熱体を使用しています。そのため、ヒーターの中心部と周辺部の温度差を補正し、均一な温度分布を実現しています。 【幅広い設計対応】 同一のヒーター面に複数のヒーター回路を収...

メーカー・取り扱い企業： 坂口電熱株式会社

シリコンラバーヒーター〈フックスプリングタイプ〉 1枚～製作可能

標準厚さ1.5mmと薄いシート状で柔軟性に優れ、曲面・円筒などの被加熱…

mと薄いシート状ですので熱応答性に優れています。 ■平面図形があれば、どんな形のものでも、円形・穴あきなど、被加熱物の形に合わせて設計いたします。 （抵抗性をパターン化するための型代は不要です。エッチングタイプは版代が必要になります。） ■特殊製法によって１枚からのご注文でも短期間にて製作いたします。 ■連続200℃においても高寿命にて使用できます。 ■HTタイプは、新素材シリコンにて連続260...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社京都電熱

キャップレス潜水ヒーター

薬液に合わせて、石英・ステンレス・チタン・フッ素樹脂などバリエーション…

・燐酸・蓚酸等）、フッ化物含有液（添加物入りクローム液等）は適用外です。 ■UU・フロン 強酸・アルカリ・純水向。金めっき浴・銀めっき浴・半田浴・クローム浴・化研浴・フッ化浴・リン酸浴・エッチング浴、ロジウム浴、無電解、硝酸・塩酸・硫酸・純水・超純水等の半導体生産・表面処理ラインに採用多数。（フッ酸や王水などガス透過性のある強酸、比重の高い薬液、高い液温での使用はご相談ください。）...

メーカー・取り扱い企業： 谷口ヒーターズ株式会社 千葉事業所

ケミカルヒータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご…

日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の 高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて います。 さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため 不純物汚染の...

メーカー・取り扱い企業： 日本エクセル株式会社

積層型水冷プレート

8種類の標準品の他、特注製作が可能！メッキがロウ材となり信頼性の高い接…

、積層は数十程度迄可能で、 8種類の標準品の他、特注製作もできます。 【特長】 ■プレートにメッキを施し、水素炉又は真空炉で加熱 ■メッキがロウ材となり信頼性の高い接合ができる ■エッチングによる微細加工により、複雑な水路を 　形成することができる ■無酸素銅を基本としているがステンレス等でも製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高木製作所