フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-304』

SiC、GaN、サファイア等の親水性ウェーハでも回収が可能！

『NAC-304』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 自動微量金属汚染物質回収装置です。 カセットでセットした25枚のウェーハを自動で回収。 バルクエッチング後の回収も自動設定で行えます。 【特長】 ■バルクエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

完全自動微量金属汚染物質回収装置『NAC-316』

ICP-MSに対して完全自動立上げ機能持っています

『NAC-316』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 完全自動微量金属汚染物質回収装置です。 ICP-MSに対して未経験者でも、分析結果を取得可能。 また、ロードポートを2台持っているため、作業効率は非常に良くなり、 イン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

簡易型微量汚染物質回収装置『SC-9000』

何方でも容易に使用できる親水性・疎水性ウェーハの回収装置です

『SC-9000』は、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で 表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能できます。 【特長】 ■ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、 　重金属以外のイオン等の回収も...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

株式会社トーア電子　会社案内

電子部品から産業機械まで、細やかな対応でお応えします。

っております。 トーア電子グループでは、創業間もない頃からの主要事業であり、半世紀を超えて技術を蓄積してきたプリント基板の開発・製造を中心とした「産業機器事業」。 その製造技術が詰め込まれたエッチングやメッキなどの表面処理装置を扱う「特機事業」を軸に事業を展開しております。 【事業内容】 ○マイクロコンピュータシステム販売 ○プリント配線基板販売 ○各種電子部品販売 ○EMC計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子