フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

70MPa＝700気圧の高圧水素でも！ステンレス焼結金網の可能性

水素・ヘリウム・窒素・酸素・アルゴンなどのガスフィルターとして採用実績…

【特長】 主に、織金網やエッチングを素材として採用。 素材の欠損・脱落の改善に繋がります。 耐熱、耐圧、耐食性に優れたフィルター製品です。 ユーザー様の設計検討や既存の設備に合わせた、特注仕様での 設計検討も適います。 ...

メーカー・取り扱い企業： ニチダイフィルタ株式会社

インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

製品特徴 ・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 １０〜２００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

製品特徴 ・パーティクル０．００３ｍ以上の高濾過精度 ・推奨流量 ２０〜４００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量、高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・低圧力損失での高流量処理 ・高耐食性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ