高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

サファイア基板エッチング用石英バス　ＡＣＣＵＢＡＴＨ®　Ｘｅ

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300…

Accubath®　Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

キャップレス潜水ヒーター

薬液に合わせて、石英・ステンレス・チタン・フッ素樹脂などバリエーション…

潜水ヒーターシリーズは、谷口ヒーターズが特許防水システムを液中に沈めて加熱する電気ヒーターに採用したことにはじまり、「キャップレス潜水」と名付け、技術開発により潜水と安全にかかわる特許のほか、全基本モデルにCE（安全）マーク認証とIPX8を取得しています。1年間防水保証付。 ...液槽を選ばない液中没し型の潜水式薬液加熱ヒーター。 IPX8（JIS防水保護等級8）の防水性能。 CE（安全）マ...

メーカー・取り扱い企業： 谷口ヒーターズ株式会社 千葉事業所

ケミカルヒータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご…

日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の 高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて います。 さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため 不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への 対応が可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エクセル株式会社