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144件 - メーカー・取り扱い企業
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33件 - カタログ
243件
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ウェハー 一括移し替え器
簡単操作でイージーハンドリング！ ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送するこ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック
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洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…
度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変…
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…
『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの 全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。 ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより 自動で取り出し、プレアライメント（ノッチ検出）を経て印...
メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社
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半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…
ンピンホールを測定・検査します。 特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■各種メーカーのFOUP/FOSB/OCに対応 ■φ300mmの定型サイズ以外やカラーカセットも検査可能 ■2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能 ■超広視野で行う高速処理でスループットは業界最速クラス ■特注も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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ダイシングフレームサイズ200mm・300mm。タクトタイム・搬送時間…
『PCT2022』は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用 ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるウェーハカセット チェンジャーです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセット。 各カセッ...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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切削・押出し加工のウエハーリングカセット！
当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を 行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。 面取り加工（入口テーパー加工）、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファーストメタル
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全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ
半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。...
メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社
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6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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