静止形カートリッジタイプメカニカルシール【ピラーカセットシール】

組付け作業が容易&高信頼性！「日本ピラー工業の静止形カートリッジタイプ…

日本ピラー工業の『ピラーカセットシール』は ◆信頼性確保に有利な、静止形のメカニカルシール構造を採用。 ◆メカニカルシールの組み付け作業に、特別な勘や経験が不要！ 　カートリッジ構造で実現した 　「イージー＆４アクシ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

静止形カートリッジタイプ＋タンデム！【カセットタンデムシール】

軸封部の課題をシンプルに解決する『ピラーカセットシールシリーズ』に、ク…

日本ピラー工業の【カセットタンデムシール】は、 　◆カセットシールの大気側２次シールを一体で追加！ 　　カセットシールの優れた特性そのままに、シール流体の微少外部漏出防止や 　　クエンチ液飛散対策ができます。 　◆...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

省スペース＆カートリッジ型【ピラーアウトサイドカセットシール】

カートリッジタイプの静止形メカニカルシールを、アウトサイド構造で実現！…

日本ピラー工業のアウトサイド形式のカートリッジタイプ静止形のメカニカルシール 【ピラーアウトサイドカセットシール】 コンパクトで薄型なアウトサイドタイプの静止形カートリッジシールは、 ポンプなど回転機器の軸封部の漏れの問題をシンプルに解決します。 ●ピラーアウトサイドカセットシールは、スタフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

耐スラリ＋静止形カートリッジタイプ【ピラーカセットスラリシール】

独自の「シールドＯリング」がスラリの影響を防ぎ高濃度スラリ液に対応！『…

【ピラーカセットスラリシール】は、日本ピラー工業の静止形カートリッジタイプメカニカルシール『ピラーカセットシール』の耐高濃度スラリバージョンです。 -------------------------------...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

L-COS対応 貼り合せ装置　真空貼合装置

インライン機から、カセットローダー・アンローダーを備えたスタンドアロー…

り圧着部へ移載され、オートアライメントを行い圧着します。圧着後、再度アライメントを行い、ＵＶ照射によりＵＶ材を硬化させ、仮固定し、下流へ排出します。ウェハー等多種の基板に対応し、インライン機から、カセットローダー・アンローダーを備えたスタンドアローンタイプまで様々なタイプを有しています。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

自吸式ポンプのニシガキポンプ！ステンレスポンプ 総合カタログ進呈

仕様に合わせた自吸式ポンプのご提案。豊富な経験でお困りごとを解決します…

ンプ] ○JFSV・JSV・FSV型 [4極・2極] ○JFSVB・JSVB・FSVB・UASVB型 [4極・2極]：H500シリーズ [マグシールポンプシリーズ] ○JM・LSM型 [カセットポンプ] ○FSD型 [2極]：渦巻ポンプ [ラインポンプ] ○ULS・PSV型 [2極]：渦巻ポンプ・自吸ポンプ [真空複合ポンプ] ○SVS型 [4極]：ガリックス [カスケードポ...

メーカー・取り扱い企業： 西垣ポンプ製造株式会社 本社

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理 ○リアクティブイオンエッチング（RIE） その他詳細は、PDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空デシケーター『FVD-BU』

300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニット…

【その他の特長】 ■8インチ以下のカセットもウェーハも保管可能 ■予備ポートは内面にもPTネジ ■チャンバー側にヒーターノズルやフィルターを付けることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

ステンレスポンプ 総合カタログ進呈。～流体と社会をつなぐ～

西垣ポンプ製造では汎用品から特殊品まで、自社工場にて　設計－機械加工－…

、小型・堅牢・安価「UFS・UAS・FS型 [2極]」、自吸ポンプ セミオープン形羽根車を採用した「SPS・PSH型 [４極]」、信頼性・耐久性に優れている「JPS・UPS・SPS型 [2極]」、カセットポンプの「FSD型 [2極]」、水封式真空ポンプの「SV・SVD型 [2極]」、ギヤーポンプの「BGS型」など多数掲載しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 西垣ポンプ製造株式会社 本社