8インチウエハ半田バンプ印刷機『MT-80SP』

テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…

『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの 全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。 ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより 自動で取り出し、プレアライメント（ノッチ検出）を経て印...

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。 危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

エマルジョンガラス自動現像機EL-GP

独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る

補充システム ■処理槽容量：約30L [EL-GPII] ■サイズ（本体）：幅2,200×長さ3,000×高さ2,600mm ■対応最大ワークサイズ：508×610mm ■処理方式：カセット式ローダ・アンローダ（標準5枚）を装備し、 　　　　　　2アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現 ■タクトタイム：20～25分/枚 ■処理制御：自動連続処理システム・自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。 金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。 事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）Maskaligner

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…

【主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4" ■カセットステージ：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ