スマートフォン向けタッチパネルの製造装置

変化をアシストする　真田製作所

■製品案内 スマートフォン向けタッチパネルの製造ライン （ウェット系は除く） カセットから1枚づつガラスを取り出すローダー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 真田製作所 埼玉三郷工場

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

液晶・ガラス関連設備のご紹介

大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…

、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの 大型ガラス基板搬送ラインです。 そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、 「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。 【ラインアップ】 ■大型総合ガラス基板搬送設備 ■ガラスパッカー・アンパッカー ■エアー浮上搬送装置 ■ワイヤーカセットバッファ装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンテック

基盤供給・搬送装置『ローダー・アンローダー』

各種検査装置への基板供給 や排出の対応が可能！【FPD関連機器】

ロボットによる基板供給や収納をする装置です。 カセットステージからロボットで取り出し、下流・ステージ、あるいは他のカセットにローディングします。 【特長】 ■各種検査装置への基板供給 / 排出対応可能 ■MGV 、AGV 対応可能 ■基板...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岩崎製作所

バッファーコンベアII型『TB-9819』

ワークに衝撃振動を与えることなく搬送可能！クリーンルーム仕様のコンベア

『TB-9819』は、ハードディスクアルミニウム製造ラインのサブストレート 収納カセット自動搬送、前後工程の受渡し用コンベアです。 クリーンルームクラス10,000対応。 移載部コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■クリーンルームクラス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーテック 城岡工場

FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

適したレイアウトでのインラインシステム構築を提案！安定稼働に向けて確実…

当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムを ご紹介いたします。 各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、 基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、 必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築。 液晶基板製造工場で、ARRAY、...

メーカー・取り扱い企業： 日本電産サンキョー株式会社

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡X...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マッピングセンサ搭載 ■塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【受託開発事例】M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置

シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介！

コンウェハー搬送装置』について ご紹介いたします。 【概要】 ■開発製品：M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置 ■特長 ・シリコンウェハーの切り欠き部を検出し、一方に揃えカセット内に積み重ねていく装置 ・SH2マイコン＋PPMC312＋FPGAにより、多軸のACサーボ、ステッピング・モータを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アンペール 友部事業所/産業機器部