安全対策向け＜ガスの基礎知識集＞事故事例つき/無料資料

PR「ガス」の単位、種類、危険濃度等、ものづくり現場で発生するガスについて…

ものづくりに関するガスの「種類」や「その危険性」など、きちんと把握できているでしょうか？ レックスでは、ガスの基礎知識をまとめた無料資料を進呈しております。 実際に現場で起きた、ガス中毒や水素爆発などの事故事例と、その要因についても解説。 事故予防を目的とした、実際の計測器・測定器についてもご紹介しております。 新人教育や作業環境の見直しなど、現場の安全対策にお役立ていただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レックス

ポータブルガス検知警報器/呼吸保護具/化学防護服

PR毒性ガスに暴露する前に作業者を守る！災害・事故現場からの退避、対処の際…

当社では、日々の製造現場の安全を確保するポータブルガス検知器から、 災害・事故の際の対応の為の防護服・呼吸器まで幅広いソリューションを ご提案いたします。 ポータブルガス検知警報器「X-am (イグザム) 5100」は、フッ化水素、塩化水素、 臭化水素を検知できるので、作業者を暴露から保護。 空気呼吸器「PSS3000」は、ディマンドプレッシャによる高い安全性と シンプルなデザ...

メーカー・取り扱い企業： ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」

プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤ…

置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。 【特徴】 ■複雑形状のワークにも対応可能 　・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、 　　複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能 ■潤滑性に優れる 　・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる ■金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも成膜可能 　・低温での成膜が可能 ■母材に追従する柔軟性を持たす成膜が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバー内で、ウェハを成膜面を下に向け裏面を吸着した状態で加熱させ、プロセスガスを下部より吹き上げながら成膜するFace-down成膜方式の採用により、低パーティクルで安全かつ高品質な成膜を実現しました。特許取得済のウェハ反り矯正機能により、SiCウェハの様な反りの大きなウェハ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

大型トレーに複数枚ウェハをマニュアル装填し、トレーがディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を往復させ成膜を行います。 常圧CVD(APCVD)の特色はそのまま、手軽に成膜が可能す。 ●納入実績 　・国内外半導体デバイス/オプトデバイスメーカー 　・大学/研究機関 ●装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現しました。 トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド(ガスノズル)と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。 また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。 ●装置サイズ(mm): 1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。 4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

W) x 900mm(D) x 950mm(H) ●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水 ●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行