独自技術を採用したガラス加工用レーザー装置

PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…

『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

ガラススクライバー【MHS-500S】

PRMHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラスに対応の…

研究・開発向けの半自動ガラススクライバーです。 スクライブパターンの登録が４種類まで可能です。 自動運転の場合、処理が完了すると、ブザー鳴動してお知らせします。 カッターは、切込み量と圧力の２つの調節が行えます。 一連の処理が完了すると自動で真空破壊されるので、段取り替えが容易です。 安全仕様として、安全カバー、インターロック、非常停止、吸着センサーが 標準で装備されています。 .....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』

実験・研究・評価・試作に好適！ガラス、金属などの平板基材に高速、高精度…

■対象基材：ガラス板、金属板などの平板 【仕様(一部)】 ・対象膜：ITO、アルミナ、化合物、各種金属膜 ・成膜方法：デポダウン、インライン成膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

【コーティング活用例】 　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体電池（結晶、ガラス、ガラスセラミックス） 　　・硫黄と水分の反応性での有毒ガス発生の課題解決 　　・低いイオン伝導率の課題解決 　固体酸化物型燃料電池（SOFC) 　　・高密度イオン伝導体の薄膜化 　　・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

スパッタリング成膜

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

スパッタリング法は、プラズマ等により高いエネルギーをもった粒子（アルゴン）を成膜材料（ターゲット）に衝突させ、 その衝撃で材料成分をたたき出し、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させることで、薄膜を形成する方法です。 弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、 スパッタリング法によるコーティングサービスも行っております...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

In-Line Sputtering System

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

In-Line Sputter Systemは平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備で連続的な大量生産に最適な競争力を持ちます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

次世代基板向け導体層形成 PVD装置

中真空域でのスパッタリング技術を使用し世界で初めて銅ダイレク成膜 によ…

有機絶縁材やガラスなどに銅ダイレクト成膜にて高い密着特性が得られる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン

プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。 各種素材（金属・ガラス・繊維）上に装飾膜（透明・干渉色）親水膜を実現。天然素材のため人体にアレルギーがなく、素材の変質・変色を防止。 食器の表面処理に実用化されており、市場の拡大が期待されています。 また赤外線の及...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

樹脂・ガラス・金属等立体形状部品・成形品への表面処理に各種コーティングを効率的に行えるドライ表面処理装置です。金属・セラミックス等各種薄膜を全面に成膜できます。 特徴 ◎立体形状部品への外周全面成膜 ◎...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセス...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

カバーガラス用ARコート、自動車用光学部品に採用されています。 ご要望・ご予算等どうぞお気軽にご相談ください。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

スパッタリング薄膜（フィルム/繊維）　受託加工/受託成膜/開発

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■独自の繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗カビ対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！防カビ対策としても有効なスパッタリング…

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見！

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【遮熱対策】～成膜加工～

基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス！遮熱・保温効果を発揮

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

ルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社