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PRカスタマイズ可能なワイヤグリッド偏光ビームスプリッター、入射角依存の少…
WGF(TM)を使用した、ワイヤグリッド偏光ビームスプリッターキューブタイプ(WGF(TM) PBS)です。 すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF(TM) PBSに替えることで輝度向上が期待できます。 縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度を向上させます。 入射角依存が少なく、安定した光学性能を維持します。 ※WGF(TM)は旭化成の製品です。...規格品 WP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティカルソリューションズ
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PR切断をはじめ、ポリッシング、積層などの工程をご紹介!当社の受託加工のご…
脆性材の端面ポリッシング、および、端面塗布の受託加工をご案内 ショーダテクトロンでは、脆性材加工用機械装置の技術を活かして、矩形、円形、その他形状の硝材の端面ポリッシング加工、および自由形状の端面樹脂塗布の加工を受託致します。また、端面研磨に関しましては、協力工場を通して、インゴットご支給からのスライス、芯出し、端面研磨といった一貫した加工も承ります。 試作品や小ロットの加工をお考えでしたら、...
メーカー・取り扱い企業: ショーダテクトロン株式会社
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エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド!
当社では、耐HF性能を持つ液体レジストを有する為 ガラスを酸で溶かして、様々な形状に加工可能な ガラス基板のケミカルエッチング加工を行っております。 仕上り面は滑らかで機械加工で発生する「マイクロクラック」等の 欠陥は発生し難く、高い強度が得られます。 【特長】 ■ガラスに対してダメ...
メーカー・取り扱い企業: 武蔵野ファインガラス株式会社
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液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄…
×機械研磨ではタクトが合わない。 ×フッ酸によるガラス溶解では綺麗に仕上がらない。 などのお困りごとを解決します。当社のガラスエッチング装置は「浸漬ディップ式」と「枚葉搬送スプレー式」の2種類あります。どちらも量産装置として数多くの実績がある装置です。 【当社装置の特徴】 ■狙い板厚±30μm規格でCpk1.33以上可能 ■自動板厚制御により1パス仕上げ可能 ■液再生システムにより...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社NSC エンジニアリング本部
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フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミ…
面のガラスにもエッチングできます。 <ガラスエッチングクリアタイプ> ●成分を調整することで、クリアタイプのエッチングレートが調整可能です。 ●クリアタイプでエッチングすることにより、ガラス基板の薄型化及びガラス基板の小傷の除去や微小傷の発見が可能です。ガラスの強度、特にエッジ強度が増加します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロステック
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フロステックの石英ガラス用エッチング剤は、自然環境と作業環境にやさしい…
VD・拡散用各種炉芯管、各種ボード・治具、フォトマスク基板、光源ユニット、各種ランプ用管などに使用されている石英ガラス用のエッチング剤です。 ●クリアタイプでエッチングすることにより、石英ガラス基板に微細なパータンを施すことができます。 ●フロストタイプでエッチングすることにより、石英ガラス製品や基板へ微細な凹凸を付与できます。 ●フロステックの石英ガラス用エッチング剤は、フッ酸は使用...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロステック
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…
実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「EXAM」をベースとし最大Φ600mmもしくは500mm□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応 「従来機種EXAM」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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簡易な槽内洗浄が可能!装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…
『ITOガラスエッチング剥離装置』は、ガラス基材表面のITO(透明導電性膜)を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易な槽内洗浄が可能。 メンテナンス性が向上します。 また、装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れることで、 搬送性能を高めています。 【特長】 ■ガラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーア電子
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新プラズマ源HCD(ホローカソード放電)電極搭載、各種メタルやCu薄膜…
新開発プラズマ源HCd(ホローカソード放電)型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくCu薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 300mmウェハや積層基板、最大1m□までの基板のメ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多く...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)
表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し!真空・大気圧プラズマを安価…
詳しくはカタログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます! 【実用例】 ・異材料の接着力を強化 有機薄膜の除去 ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化 電子部品の洗浄 薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性U...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム
イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…
つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3(酸化イットリウム)膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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加工の一体化的な装置化!自動切断による生産効率を向上したレーザーシステ…
薄膜パターニング装置『FILM LASER』は、ガラスや樹脂などの各種基板上の 薄膜除去加工に特化した装置です。 ご要望により最大加工エリアサイズは800mm×800mmまで、ライン&スペースは 20μm/20μmと微細なパターンにも対応可能です。ロールtoロールの装置化にも 対応いたします。 【特長】 ■加工範囲: 800mmx800mm(カスタマイズ) ■ライン&スペース...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社デルファイレーザージャパン
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6inと8inウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
ンセットでハンドリング出来る。 2.手操作である 3.傷・汚れの付着がない。 4.簡便である。 ◎適応 1.6inおよび8inウエハ (他のウエハ用も製作しております。) 2.ガラス基板 3.レンズ 4.チップ 5.太陽電池 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適!テフロン製の熱交換器ならそん…
1、ふっ素樹脂PFAを伝熱管に使用、高温時の環境ストレスクラッキングや耐熱衝撃性に優れています。またフレキシビリティがあるためガラスやグラファイトのように熱や機械的衝撃で割れることがありません。 2、有害な物質の溶出が無く、プロセス液を汚染しません。半導体やプリント基板などの高い純度を要求される用途に最適 3、ほとんどの化学薬品に耐えられます 4、非粘着性でスケールやスラッジが付きにくく、た...
メーカー・取り扱い企業: 関西理工株式会社
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フロステックの無アルカリ及びソーダガラス用エッチング剤は、自然環境と作…
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用ガラス基板などに使用されている無アルカリガラスやソーダライムガラス用のエッチング剤です。 ●クリアタイプで端面をエッチングすることにより、ガラス基板切断時に生じるマイクロクラックを除去し、端面強度を...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロステック
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LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…
Tプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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工業用高精細レンズシリーズ『ZEISS Dimension』
4/3型の大型エリアセンサに対応。超高分解能で細部まで高精細な…
株式会社ケンコー・トキナー 本社