フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サーモクーラー　極低温SAMOL「VL-2F2/VL-3F3」

PR-50℃の極低温状態を、あなたの机上に実現！高性能の電子冷却システム

日本ブロアーのサーモモジュール電子冷却システムSAMOLファミリーに、極低温環境を机上に実現するVLシリーズが登場しました。 従来品では-10℃が実現最低温度でしたが、高機能のVl-3F3では-50℃(VL-2F2では-30℃)の冷却空間を作り出します。 温度管理は専用コントローラーで±0.1℃単位で設定できます。 コンプレッサーを使用しないため騒音もありません。 理学や薬学関連の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブロアー株式会社

【測定事例】<電子回路の絶縁基板材料>　ポリイミドシート【TA】

熱伝導性分布測定と各部の熱拡散率異方性が評価できます。

薄いポリイミドシートの評価例をご紹介します。ポリイミドシートは、主に電子回路の絶縁基板や電子回路の絶縁層として使用される樹脂材料です。 今回は、サーモウエーブアナライザーＴＡで厚み7.5μmの、 厚み方向の熱拡散率を測定してみました。 同じポリイミドシートでも、厚みによって熱的には大きな違いがあります。 25μmと7.5μmの例で、熱拡散...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定事例】<燃料電池材料>イットリア安定化ジルコニア【TA】

熱伝導率が非接触で測定可能です！　炭素系材料なら表面処理も不要！

コーティングＴＢＣコートなどにも使われているようです。 測定した結果は、熱拡散率で1.13×10^-6 m^2s^-1でした。 ダイヤモンドに比べると、2～3桁低い値です。 当社のサーモウエーブアナライザＴＡは、非接触測定が可能です。 炭素系の材料は、表面処理が不要で測定できる場合が多数あります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所