マルチセンサ三次元測定機　スマートスコープSPシリーズ

PR広い視野と長い作動距離のマルチセンサ三次元測定機

広い視野と作動距離を確保した懐の広い機種。中・大型サイズのサンプルに最適なシリーズで、倣いプローブも搭載可能です。...【主な特長】 1. 中・大型サンプルにも対応する新開発光学系 2. 倣いプローブの運用に適した高い剛性の本体構造 3. 目視測定から完全自動測定まで幅広い用途に対応 ※詳細はカタログのダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ＹＫＴ株式会社

新型 PFA溶着機『PFMシリーズ』

PRタッチパネルで簡単操作！機能性、操作性ともにパワーアップしたPFA溶着…

『PFMシリーズ』は、作業性向上やワイドな施工範囲、使いやすさなど従来の仕様を踏襲しつつ、新規ヒーター、安全対策のためのボタンオプション等、新機能を搭載し、 溶着品質、耐久性、操作性、安全性が向上しています。 【特長】 ■高速昇温、温度が均一な高性能ヒーターを採用。長期間の使用でも初期と同等の性能を維持 ■当社製PFA溶着継手 TBNシリーズを使用することで最短溶着が可能 ■安全対策のためのダブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー