加熱したい部分に密着・省エネに貢献「フレキシブルヒーター」

PRステンレス繊維シートを使用した面状ヒータです。加熱したい部分に密着し、…

【特徴】 ・ステンレス繊維シートを使用した面状ヒータ ・高いフレキシブル性により、被加熱体に面で接触し、効率的に伝熱 ・配管などの複雑な形状にも追従し、被加熱体にヒーターを巻きつけて伝熱することも可能 ・多孔質構造の特徴により、早く温まり、早く冷める ・独自の金属繊維シートによる均一な発熱 【用途例】 ・各種設備 ・装置用ヒーター(曲面部、狭所）　など 本製品はお客様のご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴川コーポレーション

静電気除去シート『コンティニューム』

PRエアコンのフィルターに設置するだけで余計な電力消費を抑制。導入実績多数

『コンティニューム』は、特殊天然鉱物の働きにより 常にマイナス電位を維持する静電気除去シートです。 エアコンの静電気障害によって低下する熱交換効率を改善し、 コンプレッサーの稼働を抑えることでエアコンの電気代を回復します。 フィルターの大きさに合わせてハサミでカットできるので 様々なタイプのエアコンに手軽に設置可能。 上場企業250社を含む、約3300事業所で導入されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オネスト

高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着…

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ 　バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能…

リーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　リプレイサブルシート バルブ『KD-E』

シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に…

『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換…

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 　※ メンテナンス後は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空フランジ ボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性…

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるT...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能とした…

スター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交換できるバルブを使用しているが、作業者ごと作業時間や作業工程が違ってしまっている、、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティ…

【製品材質】 ■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材） ■シート：PCTFE、PFA、PI ■ダイヤフラム：コバルト合金 ※PFA、PIシートについては手動弁のみ対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性の…

およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に 　することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 　リフト（ASSY）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバル…

サイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■パージポート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

Ｙ型ベローズバルブ『IBC/IBD/IBE』

大径サイズストレートタイプ！当社独自のＹ型構造により、より高いCv値を…

ルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能です｡ 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能 ※KITZ SCT で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

（※当社試験方法実績値） ■アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し 　最高220℃までの高温流体に使用可能 （※電磁弁・センサ搭載時は最高200℃まで） ■熱影響を考慮した構造及びシート素材の採用により220℃時 Cv0.5を確保 （※Cv値　初期値誤差、使用時変動率 ±5％以内） ■当社独自技術により220℃高温流体で耐久性4,000万回以上 ■耐久試験実績値1億回以上達...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

^5 Pa（abs）[0.1MPa（G）] ■標準材質 　・ボディ：SUS304 　・ベローズ：SUS316L 　・アクチュエーター：A6063（磁気近接スイッチ用マグネット内蔵） 　・シート：フッ素ゴム※表記以外の材質も対応可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー