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PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…
『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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PRスゴ腕ロボが人手不足を一挙に解決!自在に移動でき1台何役もこなします。
手首部最大可搬質量30kgと業界最高クラスのロボット搭載型無人搬送車です。 人では続かない重労働をラクラクこなし、製造ラインの安全稼働を支えます。 協働ロボットを採用しており、ロボットと人が同一の空間で安全に作業を行うことができ、 作業範囲を大きく設定できます。 【国際物流総合展2024出展予定】 【特徴】 ■無人搬送車が協働ロボットと一体化 ■手首部最大可搬質量30kgと業界最大クラス(F...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東京機械製作所/株式会社KKS
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RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど!各種プロセ…
当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥の フルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。 フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》 丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。 「RCA」は勿論、「現像...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
00mmまで実績がございます。 ■S/DやIPA蒸気乾燥、温水引き上げ乾燥の各種乾燥ユニットに対応 ◎IPA蒸気乾燥では、ウォータマーク抑制機能を搭載 ■昨今の【少量多品種】対応としては、スピン枚葉として最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 ◎スループットUpは、UDSチャンバーのマルチ化で対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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有機剥離にもご使用可能!サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…
ステムは新型の「Spin/Dip型」や「UDS型」に代替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、ローダー、アンローダー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 ◎Maxサイズ:Φ20mm、6インチ角 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 ◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載。 ◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去性能 ◎ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態に応じて選...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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