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PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…
『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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PRスピンドル、送風機、研削盤砥石、遠心分離機、異形物旋盤加工等、様々な回…
『フィールドバランサ 』 は、回転機械に振動センサと回転センサを取付けてアンバランス振動を測定し 何度の位置にどれだけのアンバランス量があるかを計算してバランス修正できるポータブル測定器です。 バランス修正することで振動が低減して静かで滑らかに回転することが出来るようになります。 【技術資料進呈 】 回転機械で発生する振動の予備知識や本製品を活用したバランス修正方法、有効に使うための ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ電子工業株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,200x1,500x2,000mm ・自動消火システム、防爆ガラス等安全...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
ション数:1チャンバー(増設可) ・スクラブ機能:高圧ジェット ・処理液:有機系剥離液・純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過 ・処理能力:60枚/時 ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:メカニカルチャック ・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
M、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。) ・乾燥 スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
ワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー) ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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