フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

パッケージ型コンプレッサー防音BOX『CTSシリーズ』

PR屋外設置が可能！パッケージ型コンプレッサー防音BOX

『CTSシリーズ』は、コンプレッサー室が不要で屋外設置が可能な防音BOXです。 通常点検とメンテナンスの出来る扉及び、オーバーホールに対応。 換気扇・給排気サイレンサーを付属しております。 【特長】 ■コンプレッサー室が不要で経済的 ■防音室内は温度上昇を抑えるため充分な換気風量を確保 ■屋外設置が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 太陽技研工業株式会社

【取扱説明書】高制御信頼性ダブルバルブ『MCSEシリーズ』

"安全性に関する注意事項"や"サービスおよびメンテナンス"などについて…

報が 記載されておりますので、是非ご一読ください。 【掲載内容（一部）】 ■このドキュメントについて ■安全性に関する注意事項 ■製品識別 ■本製品を使用するための前提条件 ■パッケージ内容 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ロス・アジア株式会社

【取扱説明書】高制御信頼性ダブルバルブ『CC4シリーズ』

"本製品を使用するための前提条件"や"技術仕様"などについて掲載！

当資料は、当社が取り扱う、安全制御＆負荷保持用の 高制御信頼性ダブルバルブ『CC4シリーズ』の取扱説明書です。 "安全性に関する注意事項"をはじめ"パッケージ内容"や "サービス、修理、およびメンテナンス"などについて掲載。 製品を安全かつ適切に組立て、試運転するための重要な情報が 記載されておりますので、是非ご一読ください。 【掲載...

メーカー・取り扱い企業： ロス・アジア株式会社

【取扱説明書】高制御信頼性ダブルバルブ『M35シリーズ』

“製品の識別”をはじめ“パッケージ内容”や“試運転と運用”などを掲載！

情報が 記載されています。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容（一部）】 ■このドキュメントについて ■安全性に関する注意事項 ■製品の識別 ■本製品を使用するための前提条件 ■パッケージ内容 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ロス・アジア株式会社