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パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能
液中パーティクルカウンター KS-41A フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG KS-41B
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能
高計数効率0 0.1μm フォトレジスト溶液やSOG中の粒子数測定に 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制!...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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ON-WAFER処理のためのインテリジェントプロセスコントロール
『R*evolution V』は、実績のある低磁場トロイダルプラズマ技術、 高度な通信機能、高精度パワー制御機能を一体化した製品です。 当シリーズのリモートプラズマソースは、フォトレジストストリップや 様々な表面処理など、酸素ラジカルベースのアプリケーションに適しています。 またEtherCAT通信プロトコルにより、クリティカルなプラズマソース動作 パラメータをプロ...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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精度密度計により、フォトリソグラフィー工程におけるフォトレジスト液セン…
L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。 溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。 小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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